[其他]尺寸测定装置

权利要求书

1.一种尺寸测定装置，其特征在于，

所述尺寸测定装置包括：

载放台，其载放被测定物；

测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；

直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；

倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及

控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信号的测定距离校正后的校正距离的信息。

2.如权利要求1所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述位移检测部是电测微器。

3.如权利要求1或2所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件在所述一个轴向被并列配置为使所述位移检测部的与所述被测定物的接触侧面对面，

所述直线运动机构将一对所述测定件支承为能分别独立地在所述一个轴向移动。

4.如权利要求3所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件沿着所述一个轴向配置有2组。

5.如权利要求3所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述倾斜检测部分别检测所述测定件的沿着所述延伸方向的至少2个部位的所述一个轴向的位置，根据检测到的该一个轴向的位置、与所述至少2个部位的所述延伸方向的位置的关系，检测所述倾斜角。

6.如权利要求5所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述倾斜检测部具有：

线性尺，其沿着所述一个轴向配置；以及

检测头，其设在所述测定件上，并从所述线性尺检测位置信息。