[其他]尺寸测定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及测定被测定物的尺寸的尺寸测定装置。

背景技术

一般而言，作为测定被测定物的尺寸的方法，广泛已知使被形成为长条状且互相平行的一对测定件在被测定物的两旁侧相对移动，使被测定物与测定件的末端接触，检测此时的测定件间的距离。在该方法中，在测定件与被测定物接触时，测定件会由于与被测定物的接触力而易于弯曲，有时会在测定件倾斜的状态下测定尺寸。例如，在对轴长较长的环状被测定物测定径向壁厚的情况下，由于将测定件插入到被测定物的环内，因此需要使测定件加长至轴长以上。在该情况下，测定件的倾斜给距离的检测结果带来的影响大，特别是难以对大型的被测定物进行高精度测定。

因此，提出了如下尺寸测定装置：在被测定物的上方设置有测定件驱动单元，该测定件驱动单元具有沿着测定件的移动方向延伸的轨道、和被自由移动地支承在轨道上的滑动件，将测定件安装在滑动件的下方，从而使测定件长为最小限度(参照专利文献1)。根据该装置，能够缩短测定件的长度，抑制倾斜的影响。然而，在被测定物较大，需要将测定件插入到被测定物的深的位置的情况下，必须加长测定件，测定件的倾斜所导致的误差会增大。

另外，为了利用使测定件直线运动的直线运动机构来测定被测定物的尺寸的绝对值，需要以比要求的精度高的精度来移动、定位测定件。然而，在这样的直线运动机构中，存在定位误差(直线导轨等直线运动导轨为笔直度误差、滚珠丝杠等进给机构为进给误差)，实际情况是没有充分考虑这些措施。

除了如上所述的使与导轨直接连接的测定件与被测定物接触的方法以外，还提出了如下尺寸测定装置：通过用能利用弹性体浮动的机构来支承测定件，从而抑制对于被测定物的测定压，减轻测定件的倾斜(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-307018号公报

专利文献2：日本特开2007-240339号公报

实用新型内容

本实用新型欲解决的问题

然而，专利文献2的尺寸测定装置具有如下的缺点：是防止产生成为测定件倾斜原因的松动、并使测定件浮动地进行支承的构造，因此，测定件的支承构造复杂。因此，是难以提高设计自由度且难以小型化的构成。

因此，本实用新型的目的在于提供一种尺寸测定装置，即使在使用长条状的测定件来测定大的被测定物的尺寸的情况下也能够高精度测定，而且装置构成不会复杂化并适于小型化。

用于解决问题的方案

本实用新型包括下述构成。

(1)一种尺寸测定装置，其特征在于，

所述尺寸测定装置包括：

载放台，其载放被测定物；

测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；

直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；

倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及

控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信号的测定距离校正后的校正距离的信息。

(2)如(1)所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述位移检测部是电测微器。

(3)如(1)或(2)所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件在所述一个轴向被并列配置为使所述位移检测部的与所述被测定物的接触侧面对面，

所述直线运动机构将一对所述测定件支承为能分别独立地在所述一个轴向移动。

(4)如(3)所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件沿着所述一个轴向配置有2组。

(5)如(1)至(4)的任一项所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述倾斜检测部分别检测所述测定件的沿着所述延伸方向的至少2个部位的所述一个轴向的位置，根据检测到的该一个轴向的位置、与所述至少2个部位的所述延伸方向的位置的关系，检测所述倾斜角。