[发明专利]一种微电子表面防尘防垢涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种微电子表面防尘防垢涂层，其特征在于，主要由以下原料按重量份数配比制成：石英砂13~42份、石油焦15~40份、木屑10~26份、氯化钠11~23份、纳米二氧化钛1~8份、磷酸三钠8~20份、磺酸钠13~30份、乙醇11~25份、水25~60份。

2.根据权利要求1所述一种微电子表面防尘防垢涂层，其特征在于，主要由以下原料按重量份数配比制成：石英砂34份、石油焦40份、木屑22份、氯化钠18份、纳米二氧化钛6份、磷酸三钠14份、磺酸钠26份、乙醇22份、水50份。

3.权利要求1所述的一种微电子表面防尘防垢涂层的制备方法，其特征在于，包含以下步骤：

（1）将石英砂、石油焦和木屑研磨成粉，粉末粒径均为500~700目；

（2）将步骤（1）获得的粉末、氯化钠粉末、磷酸三钠粉末、磺酸钠粉末投入高温电阻炉中，辐射加热，温度维持于1100~1300℃，1~2小时；

（3）经步骤（2）高温冶炼后的粉末与纳米二氧化钛粉末按重量比2~7:1混合后加入水中，边搅拌边向其中加入乙醇，至全部溶解即可获得微电子表面防尘防垢涂层。

4.根据权利要求3所述一种微电子表面防尘防垢涂层的制备方法，其特征在于，步骤（1）中将石英砂、石油焦和木屑研磨成粉，粉末粒径均为600目。

5.根据权利要求3所述一种微电子表面防尘防垢涂层的制备方法，其特征在于，步骤（2）中将步骤（1）获得的粉末、氯化钠粉末、磷酸三钠粉末、磺酸钠粉末投入高温电阻炉中，辐射加热，温度维持于1250℃，1.5小时。

6.根据权利要求3所述一种微电子表面防尘防垢涂层的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，经步骤（2）高温冶炼后的粉末与纳米二氧化钛粉末按重量比6:1混合后加入水中，边搅拌边向其中加入乙醇，至全部溶解即可获得微电子表面防尘防垢涂层。