[发明专利]用于传送托盘的托盘发动机

说明书

发明人：A.C.博诺拉、B.康皮安、J.P.亨德森、R.W.卡尔森

背景技术

托盘(tray)用来在制造设施中运送(transport)许多的装置和材料。例如，托盘用来运送脱氧核糖核酸(DNA)样品，半导体晶圆裸片(wafer die)，药品等。托盘可在建筑物内或穿过建筑物被运送。

有时托盘被放置在托盘堆支架中以保护托盘防止在运送期间掉落。多个这样的托盘堆支架用来运送所述托盘。并且，托盘在托盘堆支架之间传送。例如，一托盘堆支架可被指定发送到实体A且另一个托盘堆支架可被指定发送到实体B。包括具有由实体A提供的技术规格的晶圆裸片的托盘要在托盘堆支架中从一堆支架被传送到指定要发送到实体A的托盘堆支架。类似地，包括用于实体B的晶圆裸片的托盘要在指定用于实体B的托盘堆支架中被传送。

然而，托盘在托盘堆之间以将托盘传送到指定用于具体实体的托盘堆的这样的传送(transfer)未必是可用的(available)。

发明内容

在一些实施例中，分类器(sorter)被提供以在盒子和指示器(indexer)之间传送托盘。分类器包括托盘发动机(tray engine)，托盘发动机进一步包括竖直驱动机构。竖直驱动机构使用电机是可旋转的。而且，竖直驱动机构被连接到末端执行器。末端执行器包括夹持(grip)托盘并在盒子和指示器之间传送托盘的夹具组件。竖直驱动机构被旋转以旋转末端执行器从而面对盒子或者指示器。例如，当托盘要被取回或者被输送到指示器时，末端执行器被旋转以面对指示器，当托盘要被取回或者被输送到盒子时，末端执行器被旋转以面对盒子。所述夹具组件在水平方向线性地运动以从盒子或者指示器夹持托盘或者输送托盘到盒子或者指示器。

在各个实施例中，识别托盘的信息在当托盘在指示器和分类器之间传送或者在盒子和分类器之间传送时被阅读。信息和分类器的标识允许托盘的排序，特征化和分类，用于传送托盘到指定被发送到希望的实体的盒子。

在各个实施例中，用于传送托盘的分类器被描述。分类器包括用于从盒子装载或者卸载托盘的装载端口侧，用于从指示器装载或者卸载托盘的指示器侧，以及用于传送托盘(当出现时)在装载端口侧和指示器侧之间的托盘发动机。指示器侧和装载端口侧位于托盘发动机的相反侧上。托盘发动机包括旋转机构，附连到旋转机构的竖直驱动柱，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括末端执行器底座和附连到末端执行器底座的滑动件。末端执行器进一步包括耦连到末端执行器底座的线性驱动机构和附连到线性驱动机构的夹具组件。线性驱动机构用于沿着滑动件水平地运动从而使夹具组件在水平方向上运动。夹具组件在水平方向运动以在装载端口侧或者在指示器侧处装载或卸载一个或更多个托盘(当出现时)。

在一些实施例中，托盘发动机被描述。托盘发动机可以是分类器、工具、或装备前端模块(EFEM)的一部分。托盘发动机包括竖直驱动柱，用于旋转竖直驱动柱的旋转机构，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括附连到竖直驱动柱的末端执行器底座。末端执行器进一步包括附连到末端执行器底座以支撑托盘(当出现时)的滑动件。滑动件能使托盘沿着末端执行器底座的长度滑动。托盘发动机包括驱动机构，其附连到末端执行器底座，用于沿着末端执行器底座运动以能使托盘(当出现时)沿着所述长度线性地滑动并且装载托盘到滑动件或者从滑动件卸载托盘。

用于传送托盘的末端执行器被描述。末端执行器可以是托盘发动机的一部分。末端执行器包括末端执行器底座，位于末端执行器底座内的滑动底座，经由滑动底座相对于末端执行器底座是可滑动的线性驱动机构，和附连到末端执行器底座以支撑托盘(当出现时)的滑动件。线性驱动机构被构造为使托盘在滑动件上运动。其他的方面将从以下与附图结合的详细描述变得显而易见。

附图说明

图1A是根据在本公开内容中描述的各个实施例的用于在盒子和指示器之间传送托盘的分类器的示意图；

图1B是根据在本公开内容中描述的一些实施例的分类器的顶视图；

图1C是根据在本公开内容中描述的若干实施例的具有用于在盒子和指示器之间传送托盘的一个滑动件的分类器的示意图；

图2是根据在本公开内容中描述的一些实施例的用来在多个盒子和多个指示器之间传送托盘的分类器的顶视图；

图3是根据在本公开内容中描述的各个实施例的用于识别托盘在制造实验室内的位置的系统的顶视图；

图4A-4C是根据在本公开内容中描述的若干实施例的装备前端模块(EFEM)的各个侧面的等距视图；