[实用新型]提高晶圆清洁度的清洗甩干设备

权利要求书

1.一种提高晶圆清洁度的清洗甩干设备，包括放置晶圆的水平清洗台、设置在所述清洗台上方的机械臂，以及安装在所述机械臂上的清洗喷头，所述清洗喷头通过供液管路与厂务供液端连通,其特征在于，所述机械臂包括第一机械臂和与所述第一机械臂转动连接的第二机械臂，所述第二机械臂装有清洗喷头，所述清洗喷头的出液方向倾斜于所述水平清洗台的垂直轴线方向；其中，所述第一机械臂可带动所述第二机械臂在所述清洗台的上方作水平直线移动,所述第二机械臂可围绕与所述第一机械臂的转动连接点水平转动。

2.如权利要求1所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第二机械臂转动连接在所述第一机械臂的下方。

3.如权利要求1所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第二机械臂转动连接在所述第一机械臂的上方。

4.如权利要求1、2或3所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第二机械臂可围绕与所述第一机械臂的转动连接点水平顺时针转动。

5.如权利要求1、2或3所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第二机械臂可围绕与所述第一机械臂的转动连接点水平逆时针转动。

6.如权利要求1、2或3所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第一机械臂可带动所述第二机械臂在所述清洗台的上方作经过所述水平清洗台中心的水平直线移动。

7.如权利要求1、2或3所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第二机械臂与所述第一机械臂之间的可转动角为0~90°。

8.如权利要求1所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述第二机械臂的可转动前端装有清洗喷头，所述清洗喷头的出液方向可以调整。

9.如权利要求1或8所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述清洗喷头的出液方向与所述水平清洗台的垂直轴线方向的夹角为3~10°。

10.如权利要求1或8所述的清洗甩干设备，其特征在于，所述清洗喷头的出液方向朝向所述晶圆清洗时的转动方向设置。