[实用新型]直流励磁式类金刚石膜涂层设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种类金刚石膜涂层设备，尤其涉及一种直流励磁式类金刚石膜涂层设备。

背景技术

类金刚石膜（DLC）是一种非晶碳的亚稳定形态，具有优异的机械性能和良好的生物相容性。类金刚石膜共享了石墨和金刚石的性能，比如：高硬度和弹性模量、化学惰性、良好的电阻率、红外透明、高析射率和卓越的平滑性。这些性能在没有晶界的各向异性无序的薄膜中获得，使得类金刚石膜与金刚石相比生产成本更便宜，因此很多要求硬度高、耐磨性好的工件或刀具的表面都采用类金刚石膜涂层。

在制作类金刚石薄膜的过程中，需要将离子沉积或轰击在工件基体表面上，现有的类金刚石膜涂层设备在离子沉积或轰击过程中存在效率低、速度慢、质量不稳定的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种效率高、速度快、质量稳定的直流励磁式类金刚石膜涂层设备。

本实用新型的目的是这样实现的：直流励磁式类金刚石膜涂层设备，包括涂层室、底座、电池箱、进气口、管道、恒温控制室，所述涂层室下方设有一底座，所述底座上安装有一电池箱，所述电池箱顶部设有外接线柱；所述涂层室的一侧设有进气口，所述进气口通过管道连接到恒温控制室，所述的恒温控制室上部设有热电偶；所述涂层室底部装有一绝缘底板，所述绝缘底板上分布有内接线柱，所述内接线柱上端与直流励磁线圈相连，所述内接线柱下端通过联接线与外接线柱相连；所述涂层室上装有门。

进一步的，所述的电池箱上设有控制开关、电压表、指示灯、遥控接收器。

本实用新型的有益效果有：（1）涂层室内设有多个直流励磁线圈，所述直流励磁线圈通过内接线柱、联接线、外接线柱与电池相连。工作时，控制开关打开，直流励磁线圈通电产生磁场，驱使离子加速沉积到工件表面，不仅效率高、速度快，而且表面厚度更厚、质量更好；（2）电池箱上设有控制开关和遥控接收器，采用遥控器远距离操作，操作方便。电池箱采用充电式蓄电池为电源，电池箱上设有电压表、指示灯，充电过程有显示提醒，安全可靠。（3）用来产生离子的气体是从涂层室侧部的进气口进入涂层室的，气体在进入前，先在恒温控制室内用电阻进行加热，并通过热电偶测温控温，从而保证进入涂层室的气体保持在最佳温度范围内，这样有利于提高涂层的效率和质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图中，1：涂层室， 2：工件， 3：门， 4：绝缘底板，5：直流励磁线圈，  6：内接线柱，  7：底座， 8：联接线， 9：外接线柱，10：电池箱，  11：控制开关， 12：电压表， 13：指示灯， 14：遥控接收器，  15：进气口，  16：管道,  17：恒温控制室，  18：热电偶。

具体实施方式

下面结合附图对具体实施方式加以说明。

如图1所示，一种直流励磁式类金刚石膜涂层设备，包括涂层室1、底座7、电池箱10、进气口15、管道16、恒温控制室17。涂层室1下方设有一底座7，底座7上安装有一电池箱10，电池箱10顶部设有外接线柱9。所述涂层室1底部装有一绝缘底板4，所述绝缘底板4上分布有内接线柱6，所述内接线柱6上端与直流励磁线圈5相连，所述内接线柱6下端通过联接线8与外接线柱9相连。工作时，控制开关打开，直流励磁线圈通电产生磁场，驱使离子加速沉积到工件表面，不仅效率高、速度快，而且表面厚度更厚、质量更好。

电池箱10上设有控制开关11、电压表12、指示灯13、遥控接收器14。电压表12用来显示充电电压，指示灯13用来显示是否有电。电池箱10采用充电式蓄电池为电源，具有充满提醒及过充电保护功能，安全可靠。本实用新型通过电池箱10的遥控接收器14接收信号，启动直流励磁线圈，操作方便。涂层室1上设有可活动开闭的门3，打开门3可以将拿放工件或进行检修。

涂层室1的一侧设有进气口15，进气口15通过管道16连接到恒温控制室17，恒温控制室17内部设有加热电阻，上部设有热电偶18。用来产生离子的气体是从进气口15进入涂层室1的，气体在进入前，先在恒温控制室17内用电阻进行加热，并通过热电偶18测温控温，从而保证进入涂层室1的气体保持在最佳温度范围内，这样有利于提高涂层的效率和质量。

应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术方案的前提下，还可以做出若干改进和修饰，这些改进和修饰也应视为本发明的保护范围，本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。