[发明专利]一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置在审
| 申请号： | 201410818866.3 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN104493690A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘思佳 | 申请（专利权）人： | 苏州凯锝微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适应 不同 尺寸 夹持 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，包括抓杆、夹持部（3），伸缩圆环（1），所述抓杆包括三个上端连接在所述伸缩圆环（1）上的弧形抓杆（2）；所述弧形抓杆（2）的下端连接所述夹持部（3）；所述弧形抓杆（2）上的中部设置有滑槽（5）；所述滑槽（5）上设置箍环（4）。
2. 根据权利要求1所述的一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，所述夹持部（3）为呈圆弧形的夹持杆。
3.根据权利要求1所述的一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，所述夹持部（3）的内侧设置圆弧形卡槽（31）。
4.根据权利要求3所述的一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，所述圆弧形卡槽（31）的表面设置橡胶。
5.根据权利要求1所述的一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，所述滑槽（5）在三个弧形抓杆（2）上的位置相同。
6.根据权利要求5所述的一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，所述箍环（4）与滑槽（5）相交处设置卡扣（6）。
7.根据权利要求1所述的一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，所述伸缩圆环（1）的直径大小可调节，以适应5、6、8、12寸的晶圆。
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