[发明专利]一种提高感光材料的曝光精度的方法在审
申请号: | 201410145411.X | 申请日: | 2014-04-11 |
公开(公告)号: | CN103941546A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 何璇;刘飞;张玉军;刘超 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/16 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 感光材料 曝光 精度 方法 | ||
1.一种提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,包括:
在所述感光材料上形成折射薄膜,用于形成所述折射薄膜的材料溶于水,且不包含碳碳双键类的活性官能团和紫外光引发剂。
2.根据权利要求1所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,在感光材料上形成折射薄膜,之前还包括:
对所述感光材料进行前烘。
3.根据权利要求1所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述在感光材料上形成折射薄膜包括:
在所述感光材料上涂布一层所述用于形成所述折射薄膜的材料的水溶液;
对所述涂布了所述水溶液的所述感光材料进行烘干,在所述感光材料上形成所述折射薄膜。
4.根据权利要求1所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述折射薄膜的折射率为1~10,优选为1~2。
5.根据权利要求1所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述折射薄膜的厚度为1~100μm,优选为3~20μm。
6.根据权利要求1-5任一项所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述用于形成所述折射薄膜的材料为聚乙烯醇、乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚氧化乙烯、醋酸纤维素之中的任意一种或者任意几种的混合物。
7.根据权利要求6所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述用于形成所述折射薄膜的材料为聚乙烯醇,形成的所述折射薄膜为聚乙烯醇薄膜。
8.根据权利要求7所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述聚乙烯醇薄膜的厚度为5μm、10μm或者20μm,优选为20μm。
9.根据权利要求1所述的提高感光材料的曝光精度的方法,其特征在于,所述感光材料为正性光刻胶或者负性光刻胶。
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