[实用新型]电感耦合等离子体功率线圈的制作装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电感耦合等离子体功率线圈（ICP）功率线圈的制作装置。

背景技术

在分析仪器领域中电感耦合等离子体功率线圈（ICP）光谱仪和ICP质谱仪是主流的分析仪器，ICP激发源是上述分析仪器的重要组成部分，而ICP功率线圈是激发源中射频功率输出部件。功率线圈为ICP相关分析仪器常用耗材，功率线圈参数一致性差会导致更换功率线圈后匹配状态变化较大最终导致仪器不能正常工作。需要工程师重新调校匹配参数，耗时费力。

另外，由于有些厂商的ICP线圈参数一致性差，更换线圈后需要工程师到现场为客户重新调校仪器，售后成本难以控制，于是研制一种ICP功率线圈制作装置来保证功率线圈一致性已成为本领域中亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种电感耦合等离子体功率线圈的制作装置，以解决现有技术制作的ICP功率线圈一致性差的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种电感耦合等离子体功率线圈的制作装置，所述制作装置包括：螺纹模块，包括圆柱体部和结合部，所述圆柱体部的外表面上形成有螺纹槽，以用于形成电感耦合等离子体功率线圈的主体部；矩形模块，包括分别形成在矩形模块的上表面和下表面上的凹槽和形成在矩形模块的侧表面上的结合槽，所述凹槽用于形成电感耦合等离子体功率线圈的端部，其中，当所述结合部插入到结合槽中时，所述螺纹模块与矩形模块相对固定。

根据本实用新型的实施例，所述结合部可呈圆柱形，并且结合部的直径可大于圆柱体部的直径。

根据本实用新型的实施例，所述结合部可与所述圆柱体部一体地形成并且同轴。

根据本实用新型的实施例，所述凹槽可贯穿所述矩形模块。

根据本实用新型的实施例，所述矩形模块的不用于形成电感耦合等离子体功率线圈的部分可被切除，使得矩形模块形成为“匚”字形。

根据本实用新型的实施例的ICP功率线圈的制作装置，通过圆柱体部的螺纹槽保证了线圈之间的间距和线圈的内径的一致性，同时利用矩形模块保证了ICP功率线圈到匹配电容的距离精确性，从而使得使用本实用新型制作出来的ICP功率线圈参数一致性好，保证了仪器更换新的功率线圈后负载一致性好，匹配参数基本保持一致，完全可以免除工程师重新校准参数的工作，省时省力。

附图说明

通过下面结合附图对实施例进行的描述，本实用新型的这些和/或其他方面和优点将会变得清楚和更易于理解，其中：

图1是示出根据本实用新型的实施例的制作装置的螺纹模块结构示意图；

图2是示出根据本实用新型的实施例的制作装置的矩形模块结构示意图；

图3和图4是根据本实用新型的实施例的螺纹模块和矩形模块组合使用的透视图；

图5是示出使用本实用新型的实施例的制作装置制作出来的ICP功率线圈的结构示意图。

具体实施方式

现在对本实用新型实施例进行详细的描述，其示例表示在附图中，其中，相同的标号始终表示相同部件。下面通过参照附图对实施例进行描述以解释本实用新型。

图1是示出根据本实用新型的实施例的制作装置的螺纹模块结构示意图；图2是示出根据本实用新型的实施例的制作装置的矩形模块结构示意图；图3和图4是根据本实用新型的实施例的螺纹模块和矩形模块组合使用的透视图。

参照图1至图4，根据本实用新型的实施例的电感耦合等离子体功率线圈300的制作装置可包括：螺纹模块100，包括一体地形成的圆柱体部120和结合部110，圆柱体部120的外表面上形成有螺纹槽，以用于形成电感耦合等离子体功率线圈300的主体部310；矩形模块200，整体是底边为矩形的直角六面体，包括分别形成在矩形模块200的上表面201和下表面202上的凹槽220a和220b以及形成在矩形模块200的一个侧表面203（垂直于凹槽220a和220b的延伸方向）上的结合槽210，凹槽220a和220b分别用于形成电感耦合等离子体功率线圈300的两个端部330a和330b，其中，当缠绕有炬管线圈铜管在圆柱体部120的螺纹模块100通过将结合部110插入到结合槽210中而与矩形模块200结合时，螺纹模块100与矩形模块200相对固定。