[实用新型]电感耦合等离子体功率线圈的制作装置

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体功率线圈的制作装置，其特征在于，所述制作装置包括：

螺纹模块，包括圆柱体部和结合部，所述圆柱体部的外表面上形成有螺纹槽，以用于形成电感耦合等离子体功率线圈的主体部；

矩形模块，包括分别形成在矩形模块的上表面和下表面上的凹槽和形成在矩形模块的侧表面上的结合槽，所述凹槽用于形成电感耦合等离子体功率线圈的端部，

其中，当所述结合部插入到结合槽中时，所述螺纹模块与所述矩形模块相对固定。

2.如权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述结合部呈圆柱形，并且结合部的直径大于圆柱体部的直径。

3.如权利要求2所述的制作装置，其特征在于，所述结合部与所述圆柱体部一体地形成并且同轴。

4.如权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述凹槽贯穿所述矩形模块。

5.如权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述矩形模块的不用于形成电感耦合等离子体功率线圈的部分被切除，使得矩形模块形成为“匚”字形。