[发明专利]一种微米级尺寸与外观缺陷综合检测装置

权利要求书

1.一种微米级尺寸与外观缺陷综合检测装置，包括电感增量检测分度盘、输送盘、机器视觉检测系统，其特征在于：所述电感增量检测分度盘包含14个工位，输送盘为透明材料制成，输送盘下方设有检测轴承滚子底面外观的检测探头；14工位电感增量检测分度盘为圆形轮盘结构，轮盘外侧配以半弧形金属挡板；所述输送盘为圆盘结构，中心开孔，输送盘中心具有输送盘转动轴，并在开孔处通过十字形支架与输送盘转动轴固定。

2.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸与外观缺陷综合检测装置，其特征在于：所述输送盘的上方还设有检测轴承滚子顶面外观的检测探头。

3.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸与外观缺陷综合检测装置，其特征在于：所述检测探头包括高速相机和照明光源。

4.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸与外观缺陷综合检测装置，其特征在于：所述输送盘采用透明玻璃或其它合适透明材料制成。