[发明专利]防尘薄膜框架、光学掩膜版及其安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及平板显示面板制造领域，尤其涉及一种防尘薄膜框架及具有该防尘薄膜框架的光学掩膜版和光学掩膜版防尘薄膜的安装方法。

背景技术

现有技术中，在显示行业的黄光制程，需要用到大尺寸光学掩膜版（Photo Mask）。而为了减少灰尘对制程的影响，需要在光学掩膜版的图案面安装防尘薄膜（Pellicle Membrane）。目前所有光学掩膜版厂商均采用粘贴的方式将防尘薄膜安装到光学掩膜版的图案面，粘贴之后，无法无损坏分离，所以目前的安装方式的防尘薄膜是一次性的。

光学掩膜版的制作工艺流程概略图如图1所示。先后需要经过成膜、光刻胶涂布、描写、显影、刻蚀、光刻胶剥离、检查、修复、清洁、防尘薄膜安装、检查及出厂等步骤。

对于其中的防尘薄膜安装步骤，如图3所示，传统的防尘薄膜安装方式是先将防尘薄膜4用粘贴的方式固定在薄膜框架2上，然后将带有防尘薄膜4的薄膜框架2粘贴固定到光学掩膜版的基板（例如石英玻璃）1的具有图案3的图案侧。形成如图2所示的光学掩膜版。

然而，每次改变产品的面板尺寸、像素、线宽等任何一个图案信息，一个产品的整套光学掩膜版就需要更新换代。被替换下来的光学掩膜版就失去了使用价值，而尚有再利用价值的防尘薄膜4由于粘贴在光学掩膜版的薄膜框架2上无法分离也只能随同主体一起废弃。另外，一旦在防尘薄膜4粘贴之后才发现光学掩膜版上的一些缺陷或损坏，而需要返回修复时，也必须破坏掉防尘薄膜4，等修复完成后再贴付一张新的防尘薄膜4。这些行为都将增加光学掩膜版的成本。并且，防尘薄膜4的造价昂贵，防尘薄膜4的费用占光学掩膜版总费用的30-40%。因此，现有技术的光学掩膜版，其防尘薄膜不能重复利用，造成很大的浪费。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的为提供一种用于光学掩膜版的防尘薄膜框架，以解决现有技术的防尘薄膜框架无法使光学掩膜版中昂贵的防尘薄膜进行重复利用的技术问题。

本发明的另一目的为提供一种具有本发明防尘薄膜框架的光学掩膜版，以解决现有技术的光学掩膜版中昂贵的防尘薄膜无法进行重复利用的技术问题。

本发明的再一目的为提供一种光学掩膜版防尘薄膜的安装方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种防尘薄膜框架，用于光学掩膜版的防尘薄膜的安装，所述防尘薄膜框架包括：第一框架，用于与所述防尘薄膜固定连接，所述第一框架具有第一连接部；第二框架，用于与所述光学掩膜版的基板固定连接，所述第二框架具有第二连接部，通过所述第二连接部与所述第一连接部将所述第一框架与所述第二框架便于分离的密封固定连接。

本发明的光学掩膜版，具有本发明的防尘薄膜框架。

一种光学掩膜版防尘薄膜的安装方法，所述光学掩膜版防尘薄膜的安装方法包括步骤：步骤S1：提供权利要求1-13任一所述的防尘薄膜框架；步骤S2：将所述防尘薄膜连接于所述第一框架，将所述基板连接于所述第二框架；步骤S3：通过所述第二连接部与所述第一连接部能够将所述第一框架与所述第二框架便于分离的密封固定连接。

本发明的有益效果在于，本发明的防尘薄膜框架及具有该防尘薄膜框架的光学掩膜版以及本发明的光学掩膜版防尘薄膜的安装方法，其将防尘薄膜框架分为第一框架和第二框架两部分，且第一框架与第二框架便于分离的安装方式可以将没有商业价值的光学掩膜版上的防尘薄膜取下，安装到需要安装的光学掩膜版上，实现防尘薄膜的重复利用，从而实现减低成本，避免资源浪费。

附图说明

图1为现有技术的光学掩膜版的制作工艺流程示意图；

图2为现有技术的防尘薄膜安装方法安装的光学掩膜版截面示意图；

图3为现有技术的防尘薄膜安装方法的安装过程示意图；

图4为安装有防尘薄膜的本发明第一实施例的防尘薄膜框架的第一框架的截面示意图；

图5为安装有防尘薄膜的本发明第一实施例的防尘薄膜框架的第一框架的俯视示意图；

图6为安装有本发明第一实施例的防尘薄膜框架的第二框架的光学掩膜版基板的截面示意图；

图7为本发明第一实施例的光学掩膜版的截面示意图；

图8为本发明第二实施例的防尘薄膜框架的第一框架截面示意图；

图9为本发明第二实施例的防尘薄膜框架的第二框架截面示意图；

图10为本发明实施例的光学掩膜版防尘薄膜的安装方法的流程示意图。

具体实施方式