[发明专利]防尘薄膜框架、光学掩膜版及其安装方法

权利要求书

1.一种防尘薄膜框架，用于光学掩膜版的防尘薄膜的安装，所述防尘薄膜框架包括：

第一框架，用于与所述防尘薄膜固定连接，所述第一框架具有第一连接部；

第二框架，用于与所述光学掩膜版的基板固定连接，所述第二框架具有第二连接部，通过所述第二连接部与所述第一连接部将所述第一框架与所述第二框架便于分离的密封固定连接。

2.如权利要求1所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第二连接部与所述第一连接部相互连接后将所述第一框架与所述第二框架可拆卸的密封固定连接。

3.如权利要求1所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一框架与所述第二框架为尺寸相匹配的矩形，所述第一连接部和所述第二连接部在所述矩形的每一长边上均设置至少两个，在所述矩形的每一短边上均设置至少一个。

4.如权利要求2所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一连接部为卡扣，所述第二连接部为卡槽；或者所述第一连接部为卡槽，所述第二连接部为卡扣。

5.如权利要求2所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一连接部为设置于所述第一框架的凸起，所述第二连接部为设置于所述第二框架的凹槽；或者所述第一连接部为设置于所述第一框架的凹槽，所述第二连接部为设置于所述第二框架的凸起。

6.如权利要求2所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一连接部为螺钉，所述第二连接部为螺母；或者所述第一连接部为螺母，所述第二连接部为螺钉。

7.如权利要求1所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一框架和所述第二框架为铝合金材质。

8.如权利要求1所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一框架上设置有限制0.3微米粒径以上颗粒通过的通气孔。

9.如权利要求8所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述通气孔的直径为1.5毫米，在所述通气孔内设置有限制0.3微米粒径以上颗粒通过的空气过滤器。

10.如权利要求1所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一框架的底面与所述第二框架的顶面为凹凸配合。

11.如权利要求10所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述防尘薄膜框架还包括将所述第一连接部与所述第二连接部相互连接以将所述第一框架与第二框架可拆卸的固定连接的连接件。

12.如权利要求11所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述第一连接部为设置在所述第一框架的具有内螺纹的第一连接孔，所述第二连接部为设置在所述第二框架的具有内螺纹的与所述第一连接孔对中的第二连接孔，所述连接件为螺钉。

13.如权利要求11所述的防尘薄膜框架，其特征在于，所述通气孔的数量为四个。

14.一种光学掩膜版，其特征在于，所述光学掩膜版具有权利要求1-13任一所述的防尘薄膜框架。

15.如权利要求14所述的光学掩膜版，其特征在于，所述光学掩膜版的规格为800×920mm或者520×800mm。

16.如权利要求14所述的光学掩膜版，其特征在于，所述第一框架与所述第二框架之间具有密封件。

17.如权利要求16所述的光学掩膜版，其特征在于，所述第一框架的底面与所述第二框架的顶面之间垫设有密封垫。

18.如权利要求14所述的光学掩膜版，其特征在于，所述基板为石英玻璃。

19.一种光学掩膜版防尘薄膜的安装方法，其特征在于，所述光学掩膜版防尘薄膜的安装方法包括步骤：

步骤S1：提供权利要求1-13任一所述的防尘薄膜框架；

步骤S2：将所述防尘薄膜连接于所述第一框架，将所述基板连接于所述第二框架；

步骤S3：通过所述第二连接部与所述第一连接部能够将所述第一框架与所述第二框架便于分离的密封固定连接。

20.如权利要求19所述的光学掩膜版，其特征在于，在所述步骤S2之后和所述步骤S3之前，还包括在所述第一框架的底面与所述第二框架的顶面之间垫设密封垫的步骤。

21.如权利要求19所述的光学掩膜版，其特征在于，在所述步骤S2中，将所述防尘薄膜粘贴于所述第一框架的顶面。