[发明专利]顶板设置型的物品运送设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种顶板设置型的物品运送设备。

背景技术

顶板设置型的物品运送设备设置在例如洁净室内的顶板部，用于将收纳半导体基板等的基板的收纳容器作为物品进行运送的用途。而且，在这样的物品运送设备中，在行进路径上设置分支部及合流部，以各种方式令物品运送车行进。例如，设置从环状的行进路径分支而经由对基板进行多种的处理的多个基板处理装置的运出运入部、然后再次合流到环状的行进路径的U字状的行进路径等，在行进路径上设置分支部及合流部而令物品运送车行进。

一般地，物品运送车具备能够升降（升降自如）的物品把持部，在对基板处理装置的运出运入部移载物品时，在停止于与基板处理装置的运出运入部对应的位置的状态下，令物品把持部升降。

日本特开2002-37059号公报（专利文献1）中公开了一种顶板设置型的物品运送设备，在行进路径中设置两方向分支部，其具有直进路径和向左右的一方侧分支的分支路径。例如，也可以使用与该两方向分支部的构成同样的构成而在行进路径中设置两方向合流部，其具有直进合流路和从左右的一方侧合流的合流路。

在顶板设置型的物品运送设备中，设置于行进路径的分支部是两方向分支部、此外设置于行进路径的合流部为两方向合流部，此时，在设定用于令物品运送车行进的行进路径的布置时，在其设定中产生制约。

例如，在行进路径的分支部中，如果能够向左右的两侧分支，则能够制约较少地进行行进路径的布置的设定。同样地，在行进路径的合流部中，如果能够从左右的两侧合流，则能够制约较少地进行行进路径的布置的设定。因而，对于专利文献1所公开的那样的顶板设置型的运送设备，期望进一步进行改善。

即，期望提供一种能够制约较少地进行行进路径的布置的设定的顶板设置型的物品运送设备。

发明内容

本发明的顶板设置型的物品运送设备的第1特征构成在于，

具备：物品运送车，具有行进部和位于该行进部的下方的物品保持部，在上述行进部的前后两侧位置的各自上具有左右的行进轮；和

导轨，沿上述物品运送车的行进路径配设，

上述导轨以沿轨道横宽方向隔开间隔的状态具有左右一对的轨道部，上述左右一对的轨道部具有上述行进轮所行进的行进面，

上述导轨具有：将上述行进路径在该行进路径延伸的方向上从上游侧行进路径向下游侧行进路径分支为三方向的三方向分支部、和以从上述三方向分支部分别分支而延伸的状态设置的直进路径、左侧分支路、右侧分支路，

上述直进路径以下述状态构成：沿上述直进路径配设的上述左右一对的轨道部与沿上述三方向分支部中的上述上游侧行进路径配设的上述左右一对的轨道部不连续，沿路径长度方向隔开既定的直进轨道W间隔，

上述左侧分支路以下述状态构成：沿上述左侧分支路配设的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部与上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的左方的轨道部相连，

上述右侧分支路构成为下述状态：沿上述右侧分支路配设的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部与上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部中的右方的轨道部相连，

上述物品运送车具有：装备在比上述行进部的上述行进轮还靠上方侧位置的路径切换用的被引导体、和切换上述被引导体被引导的状态的行进方向切换机构，

该物品运送设备还具有：承接上述被引导体的上部导轨、承接支承在上述三方向分支部中在上述上游侧行进路径的上述左右一对的轨道部与上述直进路径的上述左右一对的轨道部之间行进的上述物品运送车的辅助承接机构，

上述上部导轨以下述状态设置，具备：用于切换为令上述物品运送车沿上述左侧分支路分支行进的左分支行进状态的左分支用引导面、用于切换为令上述物品运送车沿上述右侧分支路分支行进的右分支行进状态的右分支用引导面、用于切换为令上述物品运送车直进行进的非分支行进状态的非分支用引导面，

上述行进方向切换机构构成为，将上述被引导体被引导的状态切换为上述被引导体被上述左分支用引导面引导的左分支引导状态、上述被引导体被上述右分支用引导面引导的右分支引导状态、以及上述被引导体被上述非分支用引导面引导的非分支引导状态，

上述左分支用引导面设置为，以抑制上述左分支行进状态的上述物品运送车向右侧倾斜的状态承接上述被引导体，

上述右分支用引导面设置为，以抑制上述右分支行进状态的上述物品运送车向左侧倾斜的状态承接上述被引导体，