[发明专利]一种提高PEDOT:PSS薄膜物理性能的方法有效
申请号: | 201210540191.1 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN103022362A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 邢英杰;钱旻昉 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;C23C14/12;C23C14/58;B05D3/02;B05D3/06 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人: | 余长江 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 pedot pss 薄膜 物理性能 方法 | ||
技术领域
本发明属于有机光电子领域,涉及提高有机高分子聚合物PEDOT:PSS物理性能的方法,具体涉及一种提高有机高分子聚合物PEDDOT:PSS薄膜的功函数及导电性的方法。
背景技术
功函数在固体物理中被定义成:把一个电子从固体内部刚刚移到此物体表面所需要的最少的能量。功函数的大小通常大概是金属自由原子电离能的二分之一。金属的功函数表示为一个起始能量等于费米能级的电子,由金属内部逸出到真空中所需要的最小能量。功函数的大小标志着电子在金属中束缚的强弱,功函数越大,电子越不容易离开金属。一般将功函数按照电子能量的来源,或者说是电子受激发的方式将功函数分为“热功函数”和“光电功函数”。当电子从热能中吸收能量,激发到达表面我们称之为热功函数。当电子从光子中吸收能量,激发到达表面时我们称之为光电功函数。在电子工程里面,功函数对设计“肖特基二极管”或“发光二极管”中“金属-半导体结”以及“真空管”非常重要。
功函数的具体作用:
1)当金属与半导体接触,金属与半导体之间功函数差相对很小时(同时半导体有高浓度的杂质),也就是说接触面势垒很窄的情况下,形成欧姆接触。
2)当半导体与金属功函数相差较多,形成势垒,在金属-半导体接触面形成势垒结,形成肖特基二极管的结构基础。
3)金半接触金属电子激发到达半导体晶体,激发半导体可发出各种可见光,根据此原理可以制成各种发光二极管,而这里面的激发原理也是与功函数分不开的。
4)在MOS晶体管中调节阈值电压,也就是说若要改变MOS晶体管的阈值电压,可以通过改变栅极金属-半导体功函数实现。
目前有机高分子聚合物电子器件由于可能在有机发光二极管、场效应晶体管、太阳能电池中得到应用而受到广泛关注。而其中最有希望得到广泛应用的高分子聚合物是PEDOT:PSS,它作为PN结的P型材料,其多数载流子为空穴。如果它的功函数及导电性能可以调节,那么该导电聚合物会得到更多的应用。
发明内容
本发明的目的是提高有机高分子聚合物PEDOT:PSS的功函数及导电性,便于有机高分子聚合物PEDOT:PSS在二极管和其他一些器件的设计中得到更多的应用。
为了达到上述目的,本发明所提供的技术方案包括以下步骤:
1)在基底上附着一层PEDOT:PSS薄膜;
2)烘烤沾有PEDOT:PSS薄膜的基底;
3)将烘烤后的基底置于真空腔室中;
4)用紫外线持续照射基底上的PEDOT:PSS薄膜。
步骤1)中,所述基底包括ITO玻璃及单晶硅片,其中ITO玻璃代表的是一类导电且不与PEDOT:PSS发生反应的材料;单晶硅片上有一层氧化物,它代表的是一类绝缘物质,表面光滑,具有这类性质的物质都可以作为基底。
步骤1)中,可通过甩制、脉冲激光沉积和磁控溅射等方法将PEDOT:PSS薄膜附着到基底材料上。采用甩制法时,匀胶机的转速设为3000~5000r/min,保持时间15~25s。
步骤1)中,PEDOT:PSS薄膜的厚度为35nm~55nm。
步骤2)中,烘烤PEDOT:PSS薄膜的温度为140℃~180℃,烘烤时间为15~25min。
步骤3)中,所述真空腔室的真空度至少为3×10-4Pa。
步骤4)中,所述紫外线波长为250nm~260nm,持续照射时间至少为21h。
对紫外线持续照射的PEDOT:PSS薄膜进行光电发射光谱学(PES)测量,以检测紫外线持续照射对PEDOT:PSS薄膜功函数的影响,测量结果显示,与未经任何处理的有机高分子聚合物PEDPT:PSS薄膜相比,用波长为250~260nm的紫外线持续照射处于真空度至少为3×10-4Pa的真空腔室中的PEDOT:PSS薄膜至少21h,能够提高有机高分子聚合物PEDOT:PSS薄膜的功函数。
对紫外线持续照射的PEDOT:PSS薄膜利用双通道数字源表设备进行水平测量及垂直测量,以检测紫外线持续照射对PEDOT:PSS薄膜导电性的影响,测量结果显示,无论是水平测量还是垂直测量,用波长为250~260nm的紫外线持续照射处于真空度至少为3×10-4Pa的真空腔室中的PEDOT:PSS薄膜至少21h,均能够提高有机高分子聚合物PEDOT:PSS的导电性。
由此可见,利用波长为250nm~260nm紫外线照射这种方法能同时提高PEDOT:PSS薄膜的功函数和导电性能。
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