[发明专利]一种提高PEDOT:PSS薄膜物理性能的方法有效
申请号: | 201210540191.1 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN103022362A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 邢英杰;钱旻昉 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;C23C14/12;C23C14/58;B05D3/02;B05D3/06 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人: | 余长江 |
地址: | 100871 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 pedot pss 薄膜 物理性能 方法 | ||
1.一种提高PEDOT:PSS薄膜物理性能的方法,其包括以下步骤:
1)在基底上附着一层PEDOT:PSS薄膜;
2)烘烤沾有PEDOT:PSS薄膜的基底;
3)将烘烤后的基底置于真空腔室中;
4)用紫外线照射持续照射基底上的PEDOT:PSS薄膜。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基底包括ITO玻璃及单晶硅片。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述附着方法包括甩制、脉冲激光沉积和磁控溅射。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,烘烤的温度为140℃~180℃,时间为15~25min。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述PEDOT:PSS薄膜的厚度为35nm~55nm。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,真空腔室中的真空度至少为3×10-4Pa。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,紫外线波长为250nm~260nm。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,紫外线持续照射的时间至少为21h。
9.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述ITO玻璃的大小为3cm×3cm;
所述单晶硅片的大小为1cm×1cm~6cm×6cm。
10.如权利要求3所述的方法,其特征在于,甩制时,匀胶机的转速设为3000~5000r/min,保持时间15~25s。
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