[发明专利]一种提高PEDOT:PSS薄膜物理性能的方法有效

专利信息
申请号: 201210540191.1 申请日: 2012-12-13
公开(公告)号: CN103022362A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 邢英杰;钱旻昉 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48;C23C14/12;C23C14/58;B05D3/02;B05D3/06
代理公司: 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 代理人: 余长江
地址: 100871 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 pedot pss 薄膜 物理性能 方法
【权利要求书】:

1.一种提高PEDOT:PSS薄膜物理性能的方法,其包括以下步骤:

1)在基底上附着一层PEDOT:PSS薄膜;

2)烘烤沾有PEDOT:PSS薄膜的基底;

3)将烘烤后的基底置于真空腔室中;

4)用紫外线照射持续照射基底上的PEDOT:PSS薄膜。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基底包括ITO玻璃及单晶硅片。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述附着方法包括甩制、脉冲激光沉积和磁控溅射。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,烘烤的温度为140℃~180℃,时间为15~25min。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述PEDOT:PSS薄膜的厚度为35nm~55nm。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,真空腔室中的真空度至少为3×10-4Pa。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,紫外线波长为250nm~260nm。

8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,紫外线持续照射的时间至少为21h。

9.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述ITO玻璃的大小为3cm×3cm;

所述单晶硅片的大小为1cm×1cm~6cm×6cm。

10.如权利要求3所述的方法,其特征在于,甩制时,匀胶机的转速设为3000~5000r/min,保持时间15~25s。

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