[实用新型]激光功率检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光电技术，尤其涉及一种激光功率检测装置。

背景技术

输出功率是激光器的重要参数。在半导体激光加工领域，半导体激光器的激光功率直接影响加工范围、加工工艺和加工质量等参数。因此，输出功率检测装置对于半导体激光加工领域是不可缺少的。

目前，高功率半导体激光器的输出功率的检测主要是采用激光功率计进行离线测量。对于激光加工而言，这需要中断加工过程，而且测量出的输出功率不能实时地反映加工过程中激光功率的变化。

另外，现有的半导体激光功率计结构复杂，体积较大，难于和体积较小的半导体激光器实现集成。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中检测半导体激光的激光功率计检测激光功率室需要导致激光加工中断、不能实时反映激光加工过程中激光功率变化、结构复杂以及体积大的问题，提供一种激光功率检测装置，能够实现对于半导体激光功率的在线检测，实时反映激光加工过程中的激光功率变化，并且结构简单，体积较小。

本实用新型提供了一种激光功率检测装置，包括：

用于将半导体激光器输出的光分成反射光和透射光的分光镜；

位于所述反射光路上用于将经过所述分光镜反射后的反射光的分布均匀化的第一毛玻璃；

位于所述反射光路上用于将经过所述第一毛玻璃的反射光衰减的衰减片；

位于所述反射光路上用于将经过所述衰减片的反射光的光信号变成电信号的第一光电二极管；

与所述第一光电二极管连接并用于将所述第一光电二极管输出的电信号放大的第一放大模块；

与所述第一放大模块连接并用于检测所述第一放大模块输出的电信号的电压值的第一检测模块；

与所述第一检测模块连接并用于基于所述第一检测模块检测到的电压值计算出激光输出功率的第一计算模块。

在以上技术方案的基础上，还可以包括：

用于将待加工物体反射的经过所述分光镜反射后的光的分布均匀化的第二毛玻璃；

用于将经过所述第二毛玻璃的光聚焦的凸透镜；

用于将经过所述凸透镜的光的光信号变成电信号的第二光电二极管；

与所述第二光电二极管连接并用于将所述第二光电二极管输出的电信号放大的第二放大模块；

与所述第二放大模块连接并用于检测所述第二放大模块输出的电信号的电压值的第二检测模块；

与所述第二检测模块连接并用于基于所述第二检测模块检测到的电压值计算出待加工物体的反射光功率的第二计算模块。

在以上技术方案的基础上，还可以包括分别与所述第一放大模块和第一检测模块连接的第一滤波模块。

在以上技术方案的基础上，还可以包括分别与所述第二放大模块和第二检测模块连接的第二滤波模块。

其中，所述分光镜可以与激光器输出光路成30度-60度角放置。

所述第一毛玻璃片可以与所述分光镜发射的反射光成30度-60度角放置。

本实用新型提供的激光功率检测装置，通过设置分光镜，将半导体激光器输出的光分成反射光和透射光，使得一部分光入射到待加工物体上进行正常的激光加工，另一部分光反射出来，经过第一毛玻璃片、衰减片后入射到第一光电二极管，第一光电二极管将入射的光信号转换成电信号，经过第一检测模块检测出电信号的电压值后，第一计算模块即可依据检测出的电压值计算出激光器的激光输出功率。该激光功率检测装置，无需中断正常的半导体激光加工过程，而且能够实时测量出激光加工过程中激光功率的变化；另外，该激光功率检测装置结构简单，所用到的各个元件体尺寸较小，因此便于集成，使得激光检测装置的体积能够做到较小，从而使得激光检测装置容易与半导体激光器实现集成。

下面通过具体实施例并结合附图对本实用新型做进一步的详细描述。

附图说明

图1所示为本实用新型激光功率检测装置实施例一的结构示意图；

图2所示为本实用新型激光功率检测装置实施例二的结构示意图；

图3所示为本实用新型激光功率检测装置实施例三的结构示意图。

1-分光镜；         2-激光器；

3-待加工物体；     11-第一毛玻璃；

12-衰减片；        13-第一光电二极管；

14-第一放大模块；  15-第一检测模块；

16-第一计算模块；  17-第一滤波模块；

21-第二毛玻璃；    22-凸透镜；