[实用新型]激光功率检测装置无效
| 申请号： | 201120043183.7 | 申请日： | 2011-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN202066590U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 闫妍;曾霞 | 申请（专利权）人： | 闫妍;曾霞 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200333 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 功率 检测 装置 | ||
1.一种激光功率检测装置，其特征在于，包括：
用于将半导体激光器输出的光分成反射光和透射光的分光镜；
位于所述反射光路上用于将经过所述分光镜反射后的反射光的分布均匀化的第一毛玻璃；
位于所述反射光路上用于将经过所述第一毛玻璃的反射光衰减的衰减片；
位于所述反射光路上用于将经过所述衰减片的反射光的光信号变成电信号的第一光电二极管；
与所述第一光电二极管连接并用于将所述第一光电二极管输出的电信号放大的第一放大模块；
与所述第一放大模块连接并用于检测所述第一放大模块输出的电信号的电压值的第一检测模块；
与所述第一检测模块连接并用于基于所述第一检测模块检测到的电压值计算出激光输出功率的第一计算模块。
2.根据权利要求1所述的激光功率检测装置，其特征在于，还包括：
用于将待加工物体反射的经过所述分光镜反射后的光的分布均匀化的第二毛玻璃；
用于将经过所述第二毛玻璃的光聚焦的凸透镜；
用于将经过所述凸透镜的光的光信号变成电信号的第二光电二极管；
与所述第二光电二极管连接并用于将所述第二光电二极管输出的电信号放大的第二放大模块；
与所述第二放大模块连接并用于检测所述第二放大模块输出的电信号的电压值的第二检测模块；
与所述第二检测模块连接并用于基于所述第二检测模块检测到的电压值计算出待加工物体的反射光功率的第二计算模块。
3.根据权利要求1或2所述的激光功率检测装置，其特征在于，还包括分别与所述第一放大模块和第一检测模块连接的第一滤波模块。
4.根据权利要求1或2所述的激光功率检测装置，其特征在于，还包括分别与所述第二放大模块和第二检测模块连接的第二滤波模块。
5.根据权利要求2所述的激光功率检测装置，其特征在于，所述分光镜与激光器输出光路成30度-60度角放置。
6.根据权利要求2所述的激光功率检测装置，其特征在于，所述第一毛玻璃片以与所述分光镜发射的反射光成30度-60度角放置。
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