[发明专利]高功率半导体激光器模块的检测装置和方法

权利要求书

1.一种高功率半导体激光器模块的测试装置，特征在于该装置包括测试棒、测试棒固定夹具、聚焦透镜、导光光纤和探测器，所述的测试棒是由一端具有45°斜截面并镀有对激光二极管波长的高反膜，另一端截面为正圆面的两根结构相同的透明材料棒且所述的斜截面相对共轴胶合而成，测试棒置于所述的测试棒固定夹具上，在所述的测试棒的一端或两端外设置所述的聚焦透镜，所述的导光光纤的一端位于所述的聚焦透镜的焦点，另一端接所述的探测器的输入端。

2.根据权利要求1所述的高功率半导体激光器模块的测试装置，其特征在于所述的测试棒为实心棒或空心棒。

3.根据权利要求1或2所述的高功率半导体激光器模块的测试装置，其特征在于所述的测试棒由晶体或玻璃材料制成。

4.根据权利要求1或2所述的高功率半导体激光器模块的测试装置，其特征在于所述的探测器为光谱仪或功率计。

5.利用权利要求1所述的高功率半导体激光器模块的测试装置进行测试的方法，特征在于该方法包括下列步骤：

①所述的高功率半导体激光器模块是由多个半导体激光二极管封装成发光指向轴心的圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块，将所述的测试棒穿过待测的圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块并固定在测试棒固定夹具上，调节好测试光路；

②启动所述的高功率半导体激光器模块的电源，与所述的测试棒斜截面相对的半导体激光二极管发出的光经所述的测试棒斜截面反射后沿测试棒的轴向出射，由所述的聚焦透镜聚焦，经导光光纤输入到所述的光谱仪或功率计进行波长和功率检测；

③驱使所述的测试棒绕其轴线旋转，使所述的测试棒的斜截面与所述的圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块的半导体激光二极管一一地相对，所述的光谱仪或功率计依次记录与所述的测试棒斜截面相对的半导体激光二极管发射的激光波长和激光功率，当所述的测试棒绕其轴线旋转一周，即完成一个圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块的测试；

④重复步骤①②③就可以完成对另一个圆环或半圆环的激光器模块的测试；

⑤对测试结果进行分析比较，根据需要对所测试的圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块进行筛选。

6.根据权利要求5所述的测试的方法，其特征在于所述的第①步，将所述的测试棒同时穿过多个待测的圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块并固定在测试棒固定夹具上，则只需将测试棒沿轴线方向移动位置并进行旋转测试，即可完成多个圆环或半圆环的高功率半导体激光器模块的检测。