[发明专利]高比表面金刚石电极的制备方法

权利要求书

1.高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：

1)、金属电极的清洗：

将金属电极表面用稀的碱溶液浸泡1-5分钟，以除去金属电极表面的油污；取出后用清水漂洗干净，然后将金属电极放在稀的酸溶液中浸泡1-5分钟，以除去金属电极表面的氧化物；

2)导电金刚石膜的制备：

将步骤1)清洗后的金属电极利用化学气相沉积方法在金属电极表面沉积一层导电的金刚石膜，厚度控制在10-300微米；

3)在导电的金刚石膜表面制备固体刻蚀材料：

将表面沉积有一层导电的金刚石膜的金属电极放入金属盐溶液中，0.5-2分钟后取出，水平放置晾干；然后放入真空腔体中，通入工作气体，利用微波激励工作气体使之放电产生等离子体，在200-300℃的温度下保持30-40分钟，将金属盐还原成金属颗粒，于是在导电的金刚石膜表面制备出一层固体刻蚀材料，所述的工作气体是氢气；

4)等离子体辅助固体接触法腐蚀金刚石膜表面，形成多孔状表面：

紧接步骤3)，继续往真空腔体中通入工作气体，利用微波激励工作气体使之放电产生等离子体，在800-900℃的温度下刻蚀金刚石表面10-60分钟，然后冷却到室温，取出，得到金刚石电极，备用；所述的工作气体是氢气；

5)用酸溶液溶解金刚石膜表面的残留固体刻蚀材料：

将步骤4)制备好的金刚石电极放入酸溶液中将表面残留的固体刻蚀材料溶解，露出多孔状的金刚石膜，得高比表面金刚石电极。

2.根据权利要求1所述的高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于：所述的金属电极为金属钨电极、金属钼电极或金属钛电极。

3.根据权利要求1所述的高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于：步骤1)的稀的碱溶液是氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液中的一种或二种混合，二种混合时为任意配比；质量浓度为5-20％。

3.根据权利要求1所述的高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于：步骤1)的稀的酸溶液是盐酸溶液；质量浓度为5-20％。

4.根据权利要求1所述的高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于：步骤3)的金属盐溶液为铁、钴、镍、锰中任意一种的盐溶液，或者是铁、钴、镍、锰的盐溶液中任意二种以上的混合盐溶液，任意二种以上混合时为任意配比。

5.根据权利要求1所述的高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于：步骤5)中的酸溶液是盐酸溶液；质量浓度为5-20％。