[发明专利]金刚石复合涂层拉丝模制备方法有效
| 申请号： | 01113027.X | 申请日： | 2001-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1327084A | 公开（公告）日： | 2001-12-19 |
| 发明（设计）人： | 沈荷生;张志明;郭松寿 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;B21C3/02 |
| 代理公司： | 上海交通大学专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚石 复合 涂层 拉丝 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法，以大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经稀盐酸滴加双氧水腐蚀，清洗后用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜，其特征在于当常规涂层达到10～20微米后，开始原位沉积纳米金刚石涂层，反应气体压力降低到0.5～2KPa，碳源体积浓度增加到2％～6％，并添加Ar气，Ar/H2体积比为0.3～2，沉积得到纳米金刚石膜后组成复合金刚石涂层，再对涂层进行研磨抛光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01113027.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：命理导向的网络行销系统与方法
- 下一篇：电热器皿的改进结构
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
