[发明专利]感光性树脂组合物、感光性膜、以及使用了它的图案形成方法及印制电路板无效
申请号: | 200880010483.6 | 申请日: | 2008-02-05 |
公开(公告)号: | CN101652716A | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | 池田贵美 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/085 | 分类号: | G03F7/085;G03F7/004;G03F7/031;H05K3/28 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱 丹 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 以及 使用 图案 形成 方法 印制 电路板 | ||
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、无机填充剂和密合促进剂。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,密合促进剂是选自苯并咪唑衍生物、苯并噁唑衍生物、苯并噻唑衍生物、噻三唑衍生物、硫代噁二唑衍生物、N-取代吲唑衍生物、芳香族取代吲唑衍生物、四唑衍生物、喹啉衍生物、硫代氧酸酰胺衍生物及苯并三唑衍生物中的至少一种。
3.根据权利要求1到2中任意一项所述的感光性树脂组合物,其中,无机填充剂为二氧化硅。
4.根据权利要求1到3中任意一项所述的感光性树脂组合物,其中,光聚合引发剂是肟衍生物。
5.根据权利要求1到4中任意一项所述的感光性树脂组合物,其中,还含有热交联剂。
6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,热交联剂是选自环氧树脂化合物、氧杂环丁烷化合物、聚异氰酸酯化合物、使封端剂与聚异氰酸酯化合物反应而得的化合物以及蜜胺衍生物中的至少一种。
7.一种感光性膜,其是在支承体上层叠包括权利要求1到6中任意一项所述的感光性树脂组合物的感光层而形成的。
8.一种图案形成方法,其特征在于,至少包含对权利要求7所述的感光性膜的感光层进行曝光的步骤。
9.根据权利要求8所述的图案形成方法,其中,曝光是在利用光调制机构将光调制后,穿过排列有微透镜的微透镜阵列而进行的,所述微透镜具有能够修正由该光调制机构的描素部的出射面的变形造成的像差的非球面。
10.根据权利要求8到9中任意一项所述的图案形成方法,其中,在进行曝光后,进行感光层的显影。
11.根据权利要求10所述的图案形成方法,其中,在进行显影后,进行感光层的固化处理。
12.一种印制电路板,其特征在于,其是利用权利要求8到11中任意一项所述的图案形成方法形成永久图案的。
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