[发明专利]正性敏射线的树脂组合物

摘要

一种光敏树脂组合物,它具有高的敏感性和高的分辨性,能形成具有高的图形宽高比和形状好的图形,具有良好的生产率,而且对尺寸精确性的依赖较小。该组合物包含有(i)一种光敏酚醛清漆树脂,它通过分馏处理已除去低分子量组份的碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物或一个通过分馏处理从碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物中除去其低分子量组份的产物,和(ii)一种具有酚型羟基的低分子化合物。

主权项

1．一种正性敏射线树脂组合物，其中含有(ⅰ)一种敏射线酚醛清漆树脂，它包含一个通过分馏处理已除去低分子量组份的碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物或一个通过分馏处理从碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物中除去其低分子量组份的产物，和(ⅱ)一种具有下列通式(Ⅰ)和具有酚型羟基的低分子化合物：式中的R1，R2，R3，R4，R5，R6与R7各自独立地表示H，一个C1-C4烷基，C1-C4烷氧基，环己基或具有下列通式的基团：式中的R8表示H，一个C1-C4烷基，C1-C4烷氧基或环己基；m和n各自为0，1或2；a，b，c，d，e，f，g和h各自自为0或一个1-5的整数，其中a+b≤5，c+d≤5，e+f≤5，g+h≤5；而i是0，1或2。