[发明专利]正性敏射线的树脂组合物有效

专利信息
申请号: 99802798.7 申请日: 1999-12-01
公开(公告)号: CN1290357A 公开(公告)日: 2001-04-04
发明(设计)人: 薄田谦二;西川雅人;荒野明男 申请(专利权)人: 克拉瑞特国际有限公司
主分类号: G03F7/023 分类号: G03F7/023;G03F7/004;H01L21/027
代理公司: 北京三幸商标专利事务所 代理人: 刘激扬
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 正性敏 射线 树脂 组合
【权利要求书】:

1.一种正性敏射线树脂组合物,其中含有(ⅰ)一种敏射线酚醛清漆树脂,它包含一个通过分馏处理已除去低分子量组份的碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物或一个通过分馏处理从碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物中除去其低分子量组份的产物,和(ⅱ)一种具有下列通式(Ⅰ)和具有酚型羟基的低分子化合物:式中的R1,R2,R3,R4,R5,R6与R7各自独立地表示H,一个C1-C4烷基,C1-C4烷氧基,环己基或具有下列通式的基团:式中的R8表示H,一个C1-C4烷基,C1-C4烷氧基或环己基;m和n各自为0,1或2;a,b,c,d,e,f,g和h各自自为0或一个1-5的整数,其中a+b≤5,c+d≤5,e+f≤5,g+h≤5;而i是0,1或2。

2.根据权利要求1的正性敏射线树脂组合物,其中通过分馏处理已除去其低分子量组份的碱溶性酚醛清漆树脂的溶解率,对于2.38重量%的四甲基铵氢氧化物水溶液,其范围是10-180埃/秒。

3.根据权利要求1的正性敏射线树脂组合物,其中通过分馏处理已除去其低分子量组份的碱溶性酚醛清漆树脂的平均分子量,当用聚苯乙烯标准进行测定时,是3,000~15,000,而邻萘醌二叠氮化物的反应取代率,以在该碱溶性酚醛清漆树脂中的羟基的氢原子为基准,是3-25摩尔%。

4.根据权利要求1的正性敏射线树脂组合物,其中每100重量份的通过分馏处理已除去其低分子量组份的碱溶性酚醛清漆组合物含有0.5-20重量份的具有通式(Ⅰ)的并具有酚型羟基的低分子化合物。

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