[发明专利]钛酸锶基晶界层电容器材料制造方法无效
申请号: | 94104452.1 | 申请日: | 1994-05-06 |
公开(公告)号: | CN1056130C | 公开(公告)日: | 2000-09-06 |
发明(设计)人: | 周和平;李龙土;曾剑平;杜晓峰;王玲玲 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C04B35/46 | 分类号: | C04B35/46;H01G13/00 |
代理公司: | 清华大学专利事务所 | 代理人: | 丁英烈 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 电容器用SrTiO3基晶界层电容器材料,以前大多用二次高温烧成工艺,烧结温度高,配料方式不尽合理,且性能均一性不尽理想。本发明改进了配料方法,以草酸氧钛锶[SrTiO(C2O4).nH2O]分解获得的纯SrTiO3为原料,加入Li2CO3等为助烧结剂,(Li1/4Nb3/4)O3为施主掺杂剂及以Bi2O3和SiO2为晶界绝缘剂,因此可在较低温度1000℃~1200℃,流动气体中进行半导体化烧结,然后降到650℃~900℃,在空气中进行晶界绝缘化,制成电容器用SrTiO3基晶界层电容器材料。该方法工艺简单,降低了烧结温度,变二次烧结为一次烧结,且制品性能易于控制、均匀性好。 | ||
搜索关键词: | 钛酸锶基晶界层 电容器 材料 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.电容器用SrTiO3基晶界层电容器材料的制造方法,其特征在于该方法包括下列步骤:①选用草酸氧钛锶[SrTiO(C2O4).nH2O]为原料,在900℃~1000℃温度范围内进行热分解,获得用于制造SrTiO3基晶界层电容器的SrTiO3粉料;②在上述粉料中加入Li2CO3、LiF或LiNO3三种中的一种作为助烧结剂,并且加入Sr(Li1/4Nb3/4)O3作为施主掺杂剂,加入Bi2O3-SiO2或CuO-SiO2两种复合组份系统中的一种作为晶界绝缘剂,其配方范围为:对100mol的SrTiO3加入0.5~1.30mol的Sr(Li1/4Nb3/4)O3;1.0~3.0mol的Li2CO3或LiF或LiNO3三种中的一种,再加入1.0~0.005mol的TiO2,0.005~1.5mol的SrCO3以调节Ti/Srmol比,Ti/Srmol比为1.003~0.98,加入1.0~1.8mol的Bi2O3或CuO两种中的一种,以及0.05~0.15mol的SiO2作为绝缘剂,然后将配制好的料按常规陶瓷工艺干压成园片素坯;③烧成:在1000℃~1200℃,N2+H2流动气体中进行半导体化烧结,然后降温到650℃~900℃在空气中进行晶界绝缘化,制成电容器用SrTiO3基晶界层电容器材料。
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