[实用新型]立式玻璃移动溅射镀膜装置无效
| 申请号： | 92244928.7 | 申请日： | 1992-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN2142842Y | 公开（公告）日： | 1993-09-29 |
| 发明（设计）人： | 林洪;王振东;杨森 | 申请（专利权）人： | 林洪 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/09 |
| 代理公司： | 广东专利事务所 | 代理人： | 石泽智 |
| 地址： | 515500 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种立式玻璃移动溅射镀膜装置，它由高、低真空抽气机构、电子轰击器、加热器、溅射靶、牵引机构、壳体等组成。由于把加热器、溅射靶及牵引机构都装在一个壳体内，并在牵引机构上竖立放置两块玻璃，使两块玻璃可在设定的轨道上来回移动，故可同时镀出两片溅射镀膜玻璃。本实用新型结构简单合理，造价较为便宜，工艺操作难度低，适合于中小型企业使用。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 玻璃 移动 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1、一种立式玻璃移动溅射镀膜装置，包括高、低真空抽气机构(1)、电子轰击器(2)、加热器(3)、溅射耙(4)、壳体(5)，其特征在于：还有牵引机构(6)，牵引机构(6)上可放两块玻璃(11)，加热器(3)、溅射耙(4)与牵引机构(6)都装在一个壳体(5)内，溅射耙(4)装在两片玻璃(11)运行经过的轨道中间，加热器分别装于轨道的两边，与两片玻璃(11)的位置相对应。
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