[实用新型]立式玻璃移动溅射镀膜装置无效
| 申请号： | 92244928.7 | 申请日： | 1992-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN2142842Y | 公开（公告）日： | 1993-09-29 |
| 发明（设计）人： | 林洪;王振东;杨森 | 申请（专利权）人： | 林洪 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/09 |
| 代理公司： | 广东专利事务所 | 代理人： | 石泽智 |
| 地址： | 515500 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 立式 玻璃 移动 溅射 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种立式玻璃移动溅射镀膜装置，包括高、低真空抽气机构(1)、电子轰击器(2)、加热器(3)、溅射耙(4)、壳体(5)，其特征在于：还有牵引机构(6)，牵引机构(6)上可放两块玻璃(11)，加热器(3)、溅射耙(4)与牵引机构(6)都装在一个壳体(5)内，溅射耙(4)装在两片玻璃(11)运行经过的轨道中间，加热器分别装于轨道的两边，与两片玻璃(11)的位置相对应。
2、根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：牵引机构（6）包括电机（7）、传动轮（8）、牵引绳（9）、滚动轴（10），电机（7）带动传动轮（8）转动，并通过牵引绳（9）带动竖立的玻璃（11）运动。
3、根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：壳体内可装多个溅射耙（4），每个溅射耙（4）对应可装设两块玻璃。
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