[实用新型]立式玻璃移动溅射镀膜装置

说明书

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是一种玻璃移动溅射镀膜装置。

目前国内外的玻璃移动溅射镀膜装置，均采用多工作室、连续或半连续平卧形式来镀制溅射膜玻璃。其工作过程为平卧玻璃经低真空抽气室抽气、高真空抽气室抽气，然后过加温、电子轰击室加温轰击，过溅射镀膜室镀钛或铬或其它金属有色反应膜，再过高真空过渡室、低真空过渡室，从而制成溅射镀膜玻璃。虽然在室的数量及抽气系统的配套上略有不同，但玻璃卧式平面移动形式均为相同。其主要缺点是造价昂贵，所需厂房设备较多，操作难度高，不易为小型企业接受。

本实用新型的目的在于避免上述现有技术的不足之处而提供一种结构简单，造价较为便宜，工艺操作难度低，适合于中小型企业使用的立式玻璃移动溅射镀膜装置。

本实用新型的目的可以通过以下措施来达到：本实用新型包括高、低真空抽气机构、电子轰击器、加热器、溅射耙、壳体，其特征在于：还有牵引机构，牵引机构上可放两块玻璃，加热器、溅射耙与牵引机构都装在一个壳体内，溅射耙装在两片玻璃运行经过的轨道中间，加热器分别装于轨道的两边，与两片玻璃的位置相对应。

本实用新型的目的还可以通过以下措施来达到：牵引机构包括电机、传动轮、牵引绳、滚动轴，电机带动传动轮转动，并通过牵引绳带动竖立的玻璃运动。壳体内可装多个溅射耙，每个溅射耙对应可装设两块玻璃。

图1为本实用新型的工作原理结构示意（正视）图；

图2为本实用新型的工作原理结构示意图（俯视）图。

本实用新型下面将结合附图（实施例）作进一步详述：

从参照图1～图2，本实用新型由高、低真空抽气机构1、电子轰击器2、加热器3、溅射耙4、壳体5、牵引机构6等组成。牵引机构6包括电机7、传动轮8、牵引绳9、滚动轴10等。电机7带动传动轮8转动，并通过牵引绳9带动两块竖立的玻璃11在滚动轴10上来回运动。溅射耙4、加热器3、与牵引机构6均装于壳体5内，溅射耙4装在两块玻璃运行轨道的中间，加热器3则分别装于轨道的两边，与两片玻璃的位置相对应；而电子轰击器2则装在玻璃11上；在壳体5上还开有氩气注入孔12。

本实用新型在一个真空室里，每个周期如采用1个溅射耙能同时镀出两片溅射镀膜玻璃；如采用2个溅射耙能同时镀出4片溅射镀膜玻璃（以后如此类推）。整个工作过程为：竖立装上两片玻璃，通过高、低真空抽气机构1进行低真空抽气及高真空抽气；利用电子轰击器2电子轰击玻璃表面3～5分钟，其作用是利用高压把玻璃表面的灰尘清洗干净；启动加热器3加热烘烤玻璃；再通过氩气注入口12充适量氩气，然后给溅射耙4通入大电流，氩气在电场中离化，并获得高的能量，碰击金属溅射耙4，使金属离子溅射到玻璃表面上（其原理与现有技术相同）；启动玻璃移动牵引机构6，左右两片玻璃同时向溅射耙4方向平行移动，等玻璃的尾端已过溅射耙4的最近距离后即停止移动（根据镀膜厚的要求可多次往返移动）。最后断开加热器3及溅射耙4的电源，向真空室里充气，即可得到溅射镀膜玻璃。更换溅射耙材料能镀出钛、铬等溅射金属镀膜。

本实用新型相比现有技术具有如下优点：可同时镀出两片溅射镀膜玻璃，且结构简单，造价较为便宜，工艺操作难度低，投资较少，适合于中小型企业使用。