[发明专利]电蚀机中可控抽回埋头电极的方法无效
| 申请号： | 89103445.5 | 申请日： | 1989-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1018531B | 公开（公告）日： | 1992-10-07 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-彼得·格鲁伯;兰佐·迪马利亚;法布里齐奥·罗比亚尼;埃德温·斯图茨 | 申请（专利权）人： | 洛迦诺电子工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23H7/30 | 分类号： | B23H7/30;B23H7/26;B23H1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖掬昌,王忠忠 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在发生短路时可控的抽回移动埋头电极的方法，埋头电极在短路出现时，最初沿着从短路点至中间点的以前覆盖的路径，往回移过一段预定距离，如果在到达中间点时短路仍然存在，埋头电极就移离中间点，抽回路径的第一部分是由大小和方向以固定方式限定的空间向量所确定的，如果短路仍存在于向量顶的话，埋头电极的进一步移动(抽回路径的第二部分)是平行于被腐蚀路径，且沿着由腐蚀过程中被腐蚀路径上的电极所描绘出的反方向而转移的。 | ||
| 搜索关键词： | 电蚀机中 可控 抽回 埋头 电极 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电蚀机中可控抽回埋头电极的方法，其中抽回电极在发生短路的情况下，沿着从短路点至中间点的以前复盖的路径，最初往回移过一段预定距离，如果在到达中间点时短路仍然存在的话，其中的埋头电极就按已定的抽回路径移离该中间点，其特征在于：抽回路径的第一部分(2)是由一个大小和方向固定不变的空间向量所确定的，如果短路仍然存在于向量顶端的话，埋头电极(S)的进一步的移动(抽回路径的第二部分(3))就会发生，它平行于被腐蚀路径(1)，且以腐蚀过程中由电极(S)所描绘的反方向面移动(反平行移动)。
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