[发明专利]电蚀机中可控抽回埋头电极的方法

权利要求书

1、一种电蚀机中可控抽回埋头电极的方法，其中抽回电极在发生短路的情况下，沿着从短路点至中间点的以前复盖的路径，最初往回移过一段预定距离，如果在到达中间点时短路仍然存在的话，其中的埋头电极就按已定的抽回路径移离该中间点，其特征在于：抽回路径的第一部分(2)是由一个大小和方向固定不变的空间向量所确定的，如果短路仍然存在于向量顶端的话，埋头电极(S)的进一步的移动(抽回路径的第二部分(3))就会发生，它平行于被腐蚀路径(1)，且以腐蚀过程中由电极(S)所描绘的反方向而移动(反平行移动)。

2、根据权利要求1的方法，其特征在于：沿着在腐蚀过程待复盖路径的预定距离，确定抽回路径第一部分（2）的向量是相对于绝对座标系而固定的。

3、根据权利要求2的方法，其特征在于：该抽回路径包括以固定方式限定其大小和方向的至少两个向量（2，6），而该第二部分（3），即是按工件的几何形状的函数而限定的。

4、根据权利要求3的方法，其特征在于：沿着第二部分（3）在由工件几何形状所限定的移动的尽头，有一个沿第三部分（4），以另一个固定方式限定的向量（6）的向量顶端方向的路径移动，如果当埋头电极（S）已经到达向量（6）的顶端时短路要是仍然存在，电极（S）的进一步移动则沿第四部分（7）以与被腐蚀路径（1）平行移动的方式，沿着与腐蚀过程中由腐蚀路径（1）中的埋头电极（S）所描绘的相反方向而再次发生。

5、根据权利要求4的方法，其特征在于：在消除了短路后，埋头电极（S）再次被送到最初发生短路的位置（Pk），即复盖的混合路径上。

6、一种电蚀机中可控抽回埋头电极的方法，其中埋头电极在发生短路的情况下，沿着从短路点至中间点的以前复盖的路径最初往回移过一段预定距离，如果在到达中间点时短路仍然存在的话，其中的埋头电极就按已定的抽回路径移离该中间点，其特征在于：埋头电极沿着由至少含有两个直接连接而成的抽回移动往回移动。

7、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一“点”式抽回运动与一个“缺省的”抽回移动连接起来。

8、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一个第一“点”式抽回移动与一个第二“点”式抽回移动连接起来。

9、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一个“点”式抽回移动与一个“向量”抽回移动连接起来。

10、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一个“点”式抽回移动与一个“环行式”抽回移动连接起来。

11、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一个“向量”抽回移动与一个“缺省的”抽回移动连接起来。

12、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一个第一“向量”抽回移动与一个第二“向量”抽回移动连接起来。

13、根据权利要求6的方法，其特征在于：将一个“向量”抽回移动与一个“环行式”抽回移动连接起来。

14、根据上述权利要求其中之一的方法，其特征在于：将一个辅助的双定时移动叠加在埋头电极（S）沿抽回路径的一个传统的单定时移动上。

15、根据权利要求14的方法，其特征在于：该双定时移动的持续时间超过该单定时移动的持续时间。