[实用新型]一种超声波硅片清洗机有效
| 申请号： | 202320448324.6 | 申请日： | 2023-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN219519819U | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 姜李斌;许晓辉;孙文兵 | 申请（专利权）人： | 浙江艾科半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 浙江嘉腾专利代理有限公司 33515 | 代理人： | 陈喻 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体顶端的一侧开设有清洗槽，所述清洗槽的底部固定安装有震动面钢板，所述清洗槽槽底等距固定安装有多个超声波换能器，所述超声波换能器的顶端与震动面钢板底端接触连接，所述清洗槽内壁两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块。本实用新型通过安装的伺服电机带动梯形丝杆的转动，通过梯形丝杆的转动带动滑块的升降，通过滑块的移动带动金属滤网的升降，通过金属滤网的升降，便于对清洗后的硅片提出，方便清洗后的硅片滤水和硅片的提拿，通过安装的水循环机构，水循环机构便于实现对清洗槽内部的清洗水内循环处理，确保了超声波硅片的清晰效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
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