[实用新型]一种超声波硅片清洗机

权利要求书

1.一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体(1)，其特征在于，所述清洗机体(1)顶端的一侧开设有清洗槽(5)，所述清洗槽(5)的底部固定安装有震动面钢板(13)，所述清洗槽(5)槽底等距固定安装有多个超声波换能器(14)，所述超声波换能器(14)的顶端与震动面钢板(13)底端接触连接，所述清洗槽(5)内壁两侧均开设有滑槽(10)，两个所述滑槽(10)的内部均滑动连接有滑块(11)，两个所述滑块(11)之间固定安装有金属滤网(9)，两个所述滑槽(10)的顶部和底部之间转动连接有梯形丝杆(12)，两根所述梯形丝杆(12)与滑块(11)的中部螺纹连接，所述清洗机体(1)的底部开设有第一空腔(15)，两根所述梯形丝杆(12)的底端延伸至第一空腔(15)内部均固定安装有链轮(16)，两个所述链轮(16)之间传动连接有链条(17)，所述清洗机体(1)内部的底端固定安装有伺服电机(18)，所述伺服电机(18)的输出轴与对应梯形丝杆(12)的底端固定连接，所述清洗机体(1)的另一侧开设有第二空腔(19)，所述第二空腔(19)的内壁固定安装有水循环机构。

2.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于，所述水循环机构包括循环泵(20)和PP过滤滤芯(21)，所述第二空腔(19)的内部固定安装有固定筒，所述固定筒的内部固定安装有PP过滤滤芯(21)，所述第二空腔(19)内部的顶端固定安装有循环泵(20)，所述固定筒的一端与清洗槽(5)的内部连通，所述循环泵(20)的进水端与固定筒的另一端连通，所述循环泵(20)的出水端与清洗槽(5)的内部连通。

3.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于，所述清洗槽(5)顶端的一侧铰接有密封盖板(6)，所述密封盖板(6)顶端的一侧固定设有提拿块(7)。

4.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于，所述清洗机体(1)的一侧开设有多个散热孔(3)，多个所述散热孔(3)的内部均固定安装有散热孔(3)，所述散热孔(3)的内部固定安装有防尘网(4)。

5.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于，所述清洗机体(1)底端的四个边角处均固定安装有支撑腿(2)，四个所述支撑腿(2)底端开设有均匀分布的防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种超声波硅片清洗机，其特征在于，所述清洗机体(1)的顶部固定设有控制面板(8)，超声波换能器(14)、伺服电机(18)和循环泵(20)均通过控制面板(8)与外接电源电连接。