[实用新型]一种超声波硅片清洗机

说明书

本实用新型公开了一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体顶端的一侧开设有清洗槽，所述清洗槽的底部固定安装有震动面钢板，所述清洗槽槽底等距固定安装有多个超声波换能器，所述超声波换能器的顶端与震动面钢板底端接触连接，所述清洗槽内壁两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块。本实用新型通过安装的伺服电机带动梯形丝杆的转动，通过梯形丝杆的转动带动滑块的升降，通过滑块的移动带动金属滤网的升降，通过金属滤网的升降，便于对清洗后的硅片提出，方便清洗后的硅片滤水和硅片的提拿，通过安装的水循环机构，水循环机构便于实现对清洗槽内部的清洗水内循环处理，确保了超声波硅片的清晰效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗机技术领域，特别涉及一种超声波硅片清洗机。

背景技术

硅片超声清洗机，该设备主要由上料台、清洗部分、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控部分组成。

根据专利号为“CN216800909U”公开了一种超声波硅片清洗机，通过在使用超声波进行振动除杂质的同时，托架带动清洗篮中的硅片上下移动，使得硅片能清洗的更彻底，但是上述超声波硅片清洗机在使用的过程中，清洗的硅片不便于拿出，同时硅片清洗的水没有进行实时循环过滤，影响硅片的清洗效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超声波硅片清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体顶端的一侧开设有清洗槽，所述清洗槽的底部固定安装有震动面钢板，所述清洗槽槽底等距固定安装有多个超声波换能器，所述超声波换能器的顶端与震动面钢板底端接触连接，所述清洗槽内壁两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块，两个所述滑块之间固定安装有金属滤网，两个所述滑槽的顶部和底部之间转动连接有梯形丝杆，两根所述梯形丝杆与滑块的中部螺纹连接，所述清洗机体的底部开设有第一空腔，两根所述梯形丝杆的底端延伸至第一空腔内部均固定安装有链轮，两个所述链轮之间传动连接有链条，所述清洗机体内部的底端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴与对应梯形丝杆的底端固定连接，所述清洗机体的另一侧开设有第二空腔，所述第二空腔的内壁固定安装有水循环机构。

优选的，所述水循环机构包括循环泵和PP过滤滤芯，所述第二空腔的内部固定安装有固定筒，所述固定筒的内部固定安装有PP过滤滤芯，所述第二空腔内部的顶端固定安装有循环泵，所述固定筒的一端与清洗槽的内部连通，所述循环泵的进水端与固定筒的另一端连通，所述循环泵的出水端与清洗槽的内部连通。

优选的，所述清洗槽顶端的一侧铰接有密封盖板，所述密封盖板顶端的一侧固定设有提拿块。

优选的，所述清洗机体的一侧开设有多个散热孔，多个所述散热孔的内部均固定安装有散热孔，所述散热孔的内部固定安装有防尘网。

优选的，所述清洗机体底端的四个边角处均固定安装有支撑腿，四个所述支撑腿底端开设有均匀分布的防滑纹。

优选的，所述清洗机体的顶部固定设有控制面板，超声波换能器、伺服电机和循环泵均通过控制面板与外接电源电连接。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过安装的伺服电机带动梯形丝杆的转动，通过梯形丝杆的转动带动滑块的升降，通过滑块的移动带动金属滤网的升降，通过金属滤网的升降，便于对清洗后的硅片提出，方便清洗后的硅片滤水和硅片的提拿。

2、通过安装的水循环机构，水循环机构便于实现对清洗槽内部的清洗水内循环处理，确保了超声波硅片的清晰效果。

附图说明

图1为本实用新型一种超声波硅片清洗机的结构示意图。

图2为本实用新型一种超声波硅片清洗机的剖面结构示意图。