[实用新型]废气处理装置有效
| 申请号: | 202320419960.6 | 申请日: | 2023-03-02 |
| 公开(公告)号: | CN219441159U | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
| 发明(设计)人: | 佘荣宇 | 申请(专利权)人: | 杭州富芯半导体有限公司 |
| 主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D46/64;B01D46/79;B01D46/88;B01D5/00 |
| 代理公司: | 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734 | 代理人: | 黄梅 |
| 地址: | 310051 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本公开提供一种废气处理装置,包括罐体和冷却管,罐体内具有容置空间,罐体上设置有进气口、排气口、进液口和出液口,进气口与排气口通过容置空间连通,冷却管从进液口延伸至容置空间内并从出液口伸出,容置空间内设置有过滤部件,冷却管包括冷凝容置空间内气体的冷凝段,冷凝段呈螺旋状绕设在过滤部件上。本公开的废气处理装置,一方面,螺旋状冷凝段增加了与气体的接触面积,提升了冷凝效果;另一方面,基于过滤部件的设置,避免了冷凝后副产物跟随气流流动而堵塞排气口;从而降低了维护频率,缩短了维护周期和更换频率,进而提升了机台运行时间。 | ||
| 搜索关键词: | 废气 处理 装置 | ||
【主权项】:
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