[实用新型]废气处理装置有效

专利信息
申请号: 202320419960.6 申请日: 2023-03-02
公开(公告)号: CN219441159U 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 佘荣宇 申请(专利权)人: 杭州富芯半导体有限公司
主分类号: B01D53/00 分类号: B01D53/00;B01D46/64;B01D46/79;B01D46/88;B01D5/00
代理公司: 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734 代理人: 黄梅
地址: 310051 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本公开提供一种废气处理装置,包括罐体和冷却管,罐体内具有容置空间,罐体上设置有进气口、排气口、进液口和出液口,进气口与排气口通过容置空间连通,冷却管从进液口延伸至容置空间内并从出液口伸出,容置空间内设置有过滤部件,冷却管包括冷凝容置空间内气体的冷凝段,冷凝段呈螺旋状绕设在过滤部件上。本公开的废气处理装置,一方面,螺旋状冷凝段增加了与气体的接触面积,提升了冷凝效果;另一方面,基于过滤部件的设置,避免了冷凝后副产物跟随气流流动而堵塞排气口;从而降低了维护频率,缩短了维护周期和更换频率,进而提升了机台运行时间。
搜索关键词: 废气 处理 装置
【主权项】:
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