[实用新型]废气处理装置有效
| 申请号: | 202320419960.6 | 申请日: | 2023-03-02 |
| 公开(公告)号: | CN219441159U | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
| 发明(设计)人: | 佘荣宇 | 申请(专利权)人: | 杭州富芯半导体有限公司 |
| 主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D46/64;B01D46/79;B01D46/88;B01D5/00 |
| 代理公司: | 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734 | 代理人: | 黄梅 |
| 地址: | 310051 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 废气 处理 装置 | ||
1.一种废气处理装置,包括罐体(3)和冷却管,所述罐体(3)内具有容置空间,所述罐体(3)上设置有进气口(11)、排气口(4)、进液口(2)和出液口(1),所述进气口(11)与所述排气口(4)通过所述容置空间连通,所述冷却管从所述进液口(2)延伸至所述容置空间内并从所述出液口(1)伸出,其特征在于,所述容置空间内设置有过滤部件(6),所述冷却管包括冷凝所述容置空间内气体的冷凝段(7),所述冷凝段(7)呈螺旋状绕设在所述过滤部件(6)上。
2.根据权利要求1所述的废气处理装置,其特征在于,所述容置空间内还设置有喷淋部件(5),所述喷淋部件(5)具有朝向所述过滤部件(6)喷洒液体的喷淋口。
3.根据权利要求1所述的废气处理装置,其特征在于,所述过滤部件(6)包括滤网(14)和滤芯(13),所述滤网(14)具有环形空间,所述滤芯(13)通过可拆卸结构设置在所述环形空间内,所述冷凝段(7)绕设在所述滤网(14)上并位于所述环形空间外。
4.根据权利要求3所述的废气处理装置,其特征在于,所述滤网(14)包括第一网状部(141)和第二网状部(142),所述第一网状部(141)与所述第二网状部(142)围合形成所述环形空间。
5.根据权利要求2所述的废气处理装置,其特征在于,所述罐体(3)包括罐本体和罐盖体(12),所述罐本体一端上具有开口,所述罐盖体(12)可拆卸的设置在所述开口处,所述排气口(4)、所述进液口(2)和所述出液口(1)皆设置在所述罐盖体(12)上。
6.根据权利要求5所述的废气处理装置,其特征在于,所述喷淋部件(5)包括喷淋管,所述喷淋口开设在所述喷淋管上,所述喷淋管通过安装架(15)设置在所述罐盖体(12)上。
7.根据权利要求6所述的废气处理装置,其特征在于,所述喷淋管、所述冷却管通过三通接头与所述进液口(2)相通。
8.根据权利要求6所述的废气处理装置,其特征在于,所述废气处理装置还包括有控制器和能够检测所述容置空间内压力的压力检测器,所述喷淋管上设置有开关,所述压力检测器及所述开关分别与所述控制器电连接。
9.根据权利要求5所述的废气处理装置,其特征在于,所述罐本体具有与所述开口相对设置的罐底壁,所述罐底壁上连接有排水部件。
10.根据权利要求9所述的废气处理装置,其特征在于,所述排水部件包括接水槽(8)和抽水泵(9),所述罐底壁上开设有连通所述容置空间与所述接水槽(8)的连通孔,所述抽水泵(9)与所述接水槽(8)相连以能够抽取所述接水槽(8)内的液体。
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