[实用新型]一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置

摘要

本实用新型公开了一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，包括打磨装置，所述打磨装置内部的上方设有电机，所述电机的下方连接有伸缩筒，所述伸缩筒的下方连接有伸缩连接杆，所述伸缩连接杆下方的两侧均设有限位固定块，两个所述限位固定块之间设有打磨盘，两个所述限位固定块的一侧均设有固定块，所述固定块与所述限位固定块之间连接有活动轴，所述打磨盘的两侧均开设有固定槽，所述固定块卡入所述固定槽内，所述固定块的内部设有插槽B，所述固定块的上端面开设有插槽A，所述固定槽的内部设有插杆，所述插杆插入所述插槽A内，所述打磨盘的内部设有弹簧槽。本实用新型通过便于安装拆卸的打磨盘，提高后续的工作效率。