[实用新型]一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置有效

专利信息
申请号: 202320342906.6 申请日: 2023-02-28
公开(公告)号: CN219599009U 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 郑圣君;林岳明;黄朝辉 申请(专利权)人: 扬帆半导体(江苏)有限公司
主分类号: B24B19/22 分类号: B24B19/22;B24B41/04;B24B45/00;B24B41/06;B24B41/02
代理公司: 苏州创智慧成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32419 代理人: 周波琴
地址: 215221 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 厚度 检测 功能 碳化硅 衬底 单面 打磨 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置,包括打磨装置,所述打磨装置内部的上方设有电机,所述电机的下方连接有伸缩筒,所述伸缩筒的下方连接有伸缩连接杆,所述伸缩连接杆下方的两侧均设有限位固定块,两个所述限位固定块之间设有打磨盘,两个所述限位固定块的一侧均设有固定块,所述固定块与所述限位固定块之间连接有活动轴,所述打磨盘的两侧均开设有固定槽,所述固定块卡入所述固定槽内,所述固定块的内部设有插槽B,所述固定块的上端面开设有插槽A,所述固定槽的内部设有插杆,所述插杆插入所述插槽A内,所述打磨盘的内部设有弹簧槽。本实用新型通过便于安装拆卸的打磨盘,提高后续的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅打磨装置技术领域,具体为一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置。

背景技术

碳化硅砖是以SiC为主要原料制成的耐火材料,具有耐磨、耐侵蚀性好,高温强度大,热震稳定性好,导热率高,热膨张系数小等特性,主要用于制有色冶金的甑、铸铝模、电炉炉衬和热交换器等。

目前各种碳化硅砖在制备过程中,物料成分种类较多,而且物料的颗粒大小不均匀,在生产制备完成后,表面会有凹凸不平的颗粒或坑孔,由于碳化硅的高硬度特性,这些不平整的地方很容易与外界磕碰对碳化硅砖的性能造成影响,而且不平整的砖面对于施工来说具有较大的难度。则需要利用打磨装置对其进行打磨的处理,则现有的打磨装置功能较多,多数都具备厚度检测功能。

长时间的利用打磨盘进行打磨需要对其进行更换,现有的再更换时需要耗费大量的时间,费时费力,影响后续的工作效率,对此我们提出了一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置,以解决上述背景技术中提出的时间的利用打磨盘进行打磨需要对其进行更换,现有的再更换时需要耗费大量的时间,费时费力,影响后续的工作效率等问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置,包括打磨装置,所述打磨装置内部的上方设有电机,所述电机的下方连接有伸缩筒,所述伸缩筒的下方连接有伸缩连接杆,所述伸缩连接杆下方的两侧均设有限位固定块,两个所述限位固定块之间设有打磨盘,两个所述限位固定块的一侧均设有固定块,所述固定块与所述限位固定块之间连接有活动轴,所述打磨盘的两侧均开设有固定槽,所述固定块卡入所述固定槽内,所述固定块的内部设有插槽B,所述固定块的上端面开设有插槽A,所述固定槽的内部设有插杆,所述插杆插入所述插槽A内,所述打磨盘的内部设有弹簧槽,所述弹簧槽的内部设有弹簧B,所述弹簧B的两侧均设有插块,所述插块插入所述插槽A内,所述固定块与所述限位固定块之间连接有弹簧A。

优选的,所述打磨装置下端面的四个端脚均固定设有支撑块,四个所述支撑块的下端面均设有防滑垫。

优选的,所述打磨装置内部的上端面设有工作台,所述工作台的内部设有安置槽。

优选的,所述工作台的四个端脚均贯穿连接有调节杆,四个所述调节杆的一侧设有位于工作台内部的夹持板。

优选的,所述插杆的一边为斜边结构,所述插块的两边均为斜边结构。

优选的,四个所述调节杆的一侧设有握把,所述工作台的内壁设有内螺纹,所述调节杆的外部设有外螺纹,所述外螺纹与所述内螺纹啮合连接。

优选的,所述伸缩连接杆的内部开设有内限位槽,所述内限位槽的内部设有打磨盘。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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