[实用新型]一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置

权利要求书

1.一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，包括打磨装置（1），其特征在于：所述打磨装置（1）内部的上方设有电机（2），所述电机（2）的下方连接有伸缩筒（3），所述伸缩筒（3）的下方连接有伸缩连接杆（4），所述伸缩连接杆（4）下方的两侧均设有限位固定块（9），两个所述限位固定块（9）之间设有打磨盘（5），两个所述限位固定块（9）的一侧均设有固定块（14），所述固定块（14）与所述限位固定块（9）之间连接有活动轴（13），所述打磨盘（5）的两侧均开设有固定槽（11），所述固定块（14）卡入所述固定槽（11）内，所述固定块（14）的内部设有插槽B（17），所述固定块（14）的上端面开设有插槽A（15），所述固定槽（11）的内部设有插杆（12），所述插杆（12）插入所述插槽A（15）内，所述打磨盘（5）的内部设有弹簧槽（19），所述弹簧槽（19）的内部设有弹簧B（20），所述弹簧B（20）的两侧均设有插块（18），所述插块（18）插入所述插槽A（15）内，所述固定块（14）与所述限位固定块（9）之间连接有弹簧A（16）。

2.根据权利要求1所述的一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，其特征在于：所述打磨装置（1）下端面的四个端脚均固定设有支撑块，四个所述支撑块的下端面均设有防滑垫。

3.根据权利要求1所述的一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，其特征在于：所述打磨装置（1）内部的上端面设有工作台（6），所述工作台（6）的内部设有安置槽。

4.根据权利要求3所述的一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，其特征在于：所述工作台（6）的四个端脚均贯穿连接有调节杆（8），四个所述调节杆（8）的一侧设有位于工作台（6）内部的夹持板（7）。

5.根据权利要求1所述的一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，其特征在于：所述插杆（12）的一边为斜边结构，所述插块（18）的两边均为斜边结构。

6.根据权利要求4所述的一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，其特征在于：四个所述调节杆（8）的一侧设有握把，所述工作台（6）的内壁设有内螺纹，所述调节杆（8）的外部设有外螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹啮合连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有厚度检测功能的碳化硅衬底单面打磨装置，其特征在于：所述伸缩连接杆（4）的内部开设有内限位槽（10），所述内限位槽（10）的内部设有打磨盘（5）。