[实用新型]一种抛光装置有效

专利信息
申请号: 202320307444.4 申请日: 2023-02-23
公开(公告)号: CN219359168U 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 杨学辉;张慧;李扬 申请(专利权)人: 北京亦盛精密半导体有限公司
主分类号: B24B55/03 分类号: B24B55/03
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 凌云
地址: 102600 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种抛光装置,包括抛光机头、铁台、套设在铁台外部的储液槽、储液桶、抛光液排出管、抛光液回液管,抛光机头的抛光端安装有抛光垫,储液槽的槽底设置有与铁台相匹配的安装孔,抛光液排出管处安装有水泵一,抛光液回液管处安装有水泵二,所述铁台的顶部设置有柔性磁垫,所述抛光液回液管的尾端设置有过滤器,所述过滤器位于储液槽的槽底。所述抛光装置可在现有加工中心外部可实现抛光液循环,可完成产品在加工中心的精抛光工艺,避免抛光液混入价格中心机床内部,且抛光完毕可拆除装置,进行其它产品正常加工,操作灵活,简便。所述所述抛光装置的安装、拆卸操作简单方便,实施效果好。
搜索关键词: 一种 抛光 装置
【主权项】:
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