[实用新型]一种抛光装置有效

专利信息
申请号: 202320307444.4 申请日: 2023-02-23
公开(公告)号: CN219359168U 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 杨学辉;张慧;李扬 申请(专利权)人: 北京亦盛精密半导体有限公司
主分类号: B24B55/03 分类号: B24B55/03
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 凌云
地址: 102600 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 装置
【权利要求书】:

1.一种抛光装置,包括抛光机头(10)、圆柱状的铁台(20)、套设在铁台(20)外部的储液槽(30)、储液桶(80)、抛光液排出管(63)、抛光液回液管(61),所述抛光机头(10)的抛光端安装有抛光垫(11),所述储液槽(30)的槽底设置有与铁台(20)相匹配的安装孔,所述储液桶(80)的上端设置有通孔一(81),所述抛光液排出管(63)处安装有水泵一(64),所述抛光液回液管(61)处安装有水泵二(62),所述抛光液排出管(63)的首端对准储液槽(30)的中央,所述抛光液回液管(61)的尾端与储液槽(30)的内部连通,所述抛光液回液管(61)的首端和所述抛光液排出管(63)的尾端均与储液桶(80)的内部连通,其特征在于:所述铁台(20)的顶部设置有柔性磁垫(50),所述抛光液回液管(61)的尾端设置有过滤器(70),所述过滤器(70)位于储液槽(30)的槽底。

2.根据权利要求1所述的一种抛光装置,其特征在于:所述柔性磁垫(50)包括圆形的磁垫(51),所述磁垫(51)的中央嵌设有圆形的加强板(54),所述加强板(54)的四周设置有环形缓冲区,所述环形缓冲区包括多个嵌入设在磁垫(51)内部的扇状磁板(55)、位于相邻两个扇状磁板(55)之间的扇状弹性板(56),所述扇状磁板(55)的中央设置有圆形通孔二(551);所述磁垫(51)的边部设置有减厚区(52),所述减厚区(52)的厚度小于或等于磁垫(51)中央区域厚度的二分之一;所述磁垫(51)位于环形缓冲区和减厚区(52)之间还设置有多个弧形通孔三(53)。

3.根据权利要求1所述的一种抛光装置,其特征在于:所述过滤器(70)包括顶部为圆台形结构的槽壳(71)、与抛光液回液管(61)的尾端相连接的接头(72),所述槽壳(71)的内部设置有过滤层,所述过滤层自上而下依次包括海绵层(77)、钢丝球层(76)、金属网层(75),所述过滤层的边部与槽壳(71)固定连接,所述接头(72)贯穿过滤层的中央且接头(72)的下部设置有圆台形的挡块(723),所述接头(72)的上部与槽壳(71)的壳底螺纹连接,所述接头(72)上部的中央设置有与抛光液回液管(61)的内腔相连通的盲孔(721),所述接头(72)的侧壁设置有多个与盲孔(721)相连通的侧孔(722),所述侧孔(722)均位于海绵层(77)处;所述过滤层的下端设置有火山锥状的凹槽(79)。

4.根据权利要求3所述的一种抛光装置,其特征在于:所述槽壳(71)的顶部连接有螺管(73),所述螺管(73)的上方设置有螺母(74),所述接头(72)上部的外周设置有螺纹。

5.根据权利要求3所述的一种抛光装置,其特征在于:所述槽壳(71)的槽口处设置有外翻边(711),所述外翻边(711)的下方设置有压环(78),所述压环(78)与外翻边(711)之间通过螺栓连接。

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