[实用新型]一种蚀刻机摆阀的辅助装置有效
| 申请号： | 202320251261.5 | 申请日： | 2023-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN219426680U | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈坚韬;马宝华 | 申请（专利权）人： | 粤芯半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 范伟民 |
| 地址： | 510700 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种蚀刻机摆阀的辅助装置，包括第一支撑主体和设于所述第一支撑主体一侧，且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体，所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆，所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩，所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套，所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。本申请提高了人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 机摆阀 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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