[实用新型]一种蚀刻机摆阀的辅助装置

说明书

本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种蚀刻机摆阀的辅助装置，包括第一支撑主体和设于所述第一支撑主体一侧，且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体，所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆，所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩，所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套，所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。本申请提高了人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种蚀刻机摆阀的辅助装置。

背景技术

在半导体制造工艺中，用于半导体蚀刻的金属机台保养时需要拆装TGV摆阀，由于摆阀本身质量比较重(1kg)，而且在拆装时施工空间较为狭窄，安装时需要一只手抓摆阀，一只手按气缸开关，这就使得操作者很难发力，且摆阀安装对准精度要求又高，往往需要尝试几次才能将其安装好，很浪费体力和时间。

现有技术中的摆阀安装，需要施工人员半蹲在金属机台的施工空间，一只手用力按住气缸开关，一只手握持摆阀寻找安装腔内安装孔位置，当人工用力往上提的时候需要持续较大力气，并凭经验寻找安装孔位，两只手交叉使用，非常吃力，从而有可能会导致人员的多次安装失败，甚至导致摆阀与安装腔侧壁剐蹭而产生杂质碎屑，导致机台检测不通过，甚至影响机台复机超时等，由此，有必要设计一种便于蚀刻机摆阀拆装的辅助装置，以提高人工拆装摆阀的效率。

实用新型内容

本申请提供一种蚀刻机摆阀的辅助装置，以提高人工拆装蚀刻机摆阀的效率和安全性。

为实现以上实用新型目的，采用的技术方案为：

一种蚀刻机摆阀的辅助装置，包括第一支撑主体，以及设于所述第一支撑主体的一侧且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体，所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆，所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩，所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头，所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套，所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。

本申请进一步设置为：所述第二支撑主体的外表面设有螺纹部，所述螺纹部与所述支撑杆的内壁相匹配，用于所述第二支撑主体相对于所述支撑杆螺旋伸缩。

本申请进一步设置为：所述固定头与所述第二支撑主体粘接固定或螺纹连接固定。

本申请进一步设置为：在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间，一体连接有摩擦纹。

本申请进一步设置为：在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间，开设有辅助槽，所述辅助槽内套设有摩擦垫。

本申请进一步设置为：所述防滑件包括若干个呈圆周排列的第一防滑块，所述第一防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

本申请进一步设置为：所述防滑件包括若干个呈矩阵排列的第二防滑块，所述第二防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

本申请进一步设置为：所述支撑杆与所述第一支撑主体螺纹连接固定，在所述第一支撑主体上且位于所述支撑杆的两侧对称设有引导块，所述引导块与所述支撑杆的外壁轮廓相匹配。

本申请进一步设置为：所述固定头由PVC材料制成，所述第一支撑主体和所述第二支撑主体由不锈钢材料制成。

本申请进一步设置为：所述第一支撑主体的外径为50mm，所述支撑杆的长度为55mm，所述支撑杆的外径为9mm，所述第二支撑主体的长度为55mm，所述第二支撑主体的外径为8mm。