[实用新型]一种蚀刻机摆阀的辅助装置有效

专利信息
申请号: 202320251261.5 申请日: 2023-02-16
公开(公告)号: CN219426680U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 陈坚韬;马宝华 申请(专利权)人: 粤芯半导体技术股份有限公司
主分类号: B25B27/00 分类号: B25B27/00
代理公司: 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 代理人: 范伟民
地址: 510700 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 蚀刻 机摆阀 辅助 装置
【权利要求书】:

1.一种蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于:包括第一支撑主体,以及设于所述第一支撑主体的一侧且与所述第一支撑主体相垂直的第二支撑主体,所述第一支撑主体面向所述第二支撑主体的一侧可拆卸连接有支撑杆,所述第二支撑主体套设在所述支撑杆内且相对于所述支撑杆伸缩,所述第二支撑主体背离所述支撑杆的一端固定连接有用于压迫气缸开关的固定头,所述第一支撑主体的外表面套设有橡胶防护套,所述橡胶防护套上一体连接有防滑件。

2.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述第二支撑主体的外表面设有螺纹部,所述螺纹部与所述支撑杆的内壁相匹配,用于所述第二支撑主体相对于所述支撑杆螺旋伸缩。

3.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述固定头与所述第二支撑主体粘接固定或螺纹连接固定。

4.如权利要求2所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间,一体连接有摩擦纹。

5.如权利要求2所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,在所述第二支撑主体上且位于所述固定头与所述螺纹部之间,开设有辅助槽,所述辅助槽内套设有摩擦垫。

6.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述防滑件包括若干个呈圆周排列的第一防滑块,所述第一防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

7.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述防滑件包括若干个呈矩阵排列的第二防滑块,所述第二防滑块与所述橡胶防护套一体连接。

8.如权利要求1所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述支撑杆与所述第一支撑主体螺纹连接固定,在所述第一支撑主体上且位于所述支撑杆的两侧对称设有引导块,所述引导块与所述支撑杆的外壁轮廓相匹配。

9.如权利要求1-8任一项所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述固定头由PVC材料制成,所述第一支撑主体和所述第二支撑主体由不锈钢材料制成。

10.如权利要求1-8任一项所述的蚀刻机摆阀的辅助装置,其特征在于,所述第一支撑主体的外径为50mm,所述支撑杆的长度为55mm,所述支撑杆的外径为9mm,所述第二支撑主体的长度为55mm,所述第二支撑主体的外径为8mm。

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