[实用新型]一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置

摘要

本实用新型公开了一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体，所述柜体的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块，所述柜体的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板，所述柜体的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板，所述第一安装板的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮，所述第一安装板的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副。本实用新型中，调节盘通过转动螺丝，螺丝向内移动带动限位杆对硅片进行夹紧，通过固定杆上的弹簧自适应硅片的大小对限位杆进行调节，调节好后的限位杆即可放入硅片，可以对大小不同的硅片进行放置。