[实用新型]一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置有效

专利信息
申请号: 202320216748.X 申请日: 2023-02-14
公开(公告)号: CN218864798U 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 杨本广;侯志刚;刘在军;苗华胜 申请(专利权)人: 济南晶久电子科技有限公司
主分类号: F27D3/00 分类号: F27D3/00;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250200 山东省济南市章丘*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 扩散 拉杆 自动 进出 装置
【权利要求书】:

1.一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,包括柜体(1),其特征在于:所述柜体(1)的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块(4),所述柜体(1)的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板(7),所述柜体(1)的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板(8),所述第一安装板(7)的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机(9),所述伺服电机(9)的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮(10),所述第一安装板(7)的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副(15),所述第二安装板(8)的前端位置上固定连接有固定块(21),所述螺母副(15)的一侧中间位置上贯穿并螺纹连接有螺纹杆(13)且螺纹杆(13)与固定块(21)转动连接,所述螺母副(15)的一侧顶部和底部位置上均贯穿并滑动连接有滑杆(14)且滑杆(14)与固定块(21)固定连接,所述螺母副(15)的前端右侧位置上固定连接有安装架(16),所述安装架(16)的内壁位置上固定连接有调节盘(17),所述调节盘(17)的一侧位置上贯穿并设置有分布均匀的限位孔(18),所述限位孔(18)的内壁位置上滑动连接有限位杆(19),两个所述限位孔(18)的内壁中间位置上贯穿并设置有固定杆(23)且固定杆(23)与限位杆(19)贯穿并滑动连接,所述固定杆(23)的外壁位置上设置有弹簧(24)。

2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述柜体(1)的底部四角位置上均固定连接有分布均匀的支撑杆(2)。

3.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述安装块(4)的前端顶部中间位置上贯穿并设置有控制面板(5)。

4.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述柜体(1)的前端中间两侧位置上均转动连接有分布均匀的柜门(3)。

5.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述柜体(1)的左侧中间位置上贯穿并固定连接有分布均匀的固定孔(6)。

6.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述螺纹杆(13)的右侧外壁位置上固定连接有从动皮带轮(12),所述从动皮带轮(12)与主动皮带轮(10)之间位置上设置有皮带(11)。

7.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述调节盘(17)的外壁位置上贯穿并转动连接有分布均匀的螺丝(20)且螺丝(20)与限位杆(19)贯穿并转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置,其特征在于:所述固定块(21)的前端底部位置上固定连接有挡板(22)。

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