[实用新型]一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置

说明书

本实用新型公开了一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体，所述柜体的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块，所述柜体的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板，所述柜体的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板，所述第一安装板的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮，所述第一安装板的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副。本实用新型中，调节盘通过转动螺丝，螺丝向内移动带动限位杆对硅片进行夹紧，通过固定杆上的弹簧自适应硅片的大小对限位杆进行调节，调节好后的限位杆即可放入硅片，可以对大小不同的硅片进行放置。

技术领域

本实用新型涉及扩散炉领域，尤其涉及一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，自动进出料装置应用于硅片生产过程中进行扩散、氧化、退火、装置中的自动控制进出料。

目前，现有的扩散炉专用自动进出料装置在对硅片进行悬挂携带时，由于没有支撑装置，导致硅片在悬挂杆上容易滑动，进而造成脱落，从而降低了其加工效果，而且现有的扩散炉无法对大小不同的硅片进行放置，故需对拉杆式扩散炉用自动进出料装置进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于扩散炉的拉杆式自动进出料装置，包括柜体，所述柜体的内壁前端右侧位置上固定连接有安装块，所述柜体的内壁右侧位置上固定连接有分布均匀的第一安装板，所述柜体的内壁左侧位置上固定连接有分布均匀的第二安装板，所述第一安装板的前端右侧顶部位置上固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端位置上均固定连接有主动皮带轮，所述第一安装板的前端左侧中间位置上滑动连接有螺母副，所述第二安装板的前端位置上固定连接有固定块，所述螺母副的一侧中间位置上贯穿并螺纹连接有螺纹杆且螺纹杆与固定块转动连接，所述螺母副的一侧顶部和底部位置上均贯穿并滑动连接有滑杆且滑杆与固定块固定连接，所述螺母副的前端右侧位置上固定连接有安装架，所述安装架的内壁位置上固定连接有调节盘，所述调节盘的一侧位置上贯穿并设置有分布均匀的限位孔，所述限位孔的内壁位置上滑动连接有限位杆，两个所述限位孔的内壁中间位置上贯穿并设置有固定杆且固定杆与限位杆贯穿并滑动连接，所述固定杆的外壁位置上设置有弹簧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述柜体的底部四角位置上均固定连接有分布均匀的支撑杆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装块的前端顶部中间位置上贯穿并设置有控制面板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述柜体的前端中间两侧位置上均转动连接有分布均匀的柜门。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述柜体的左侧中间位置上贯穿并固定连接有分布均匀的固定孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述螺纹杆的右侧外壁位置上固定连接有从动皮带轮，所述从动皮带轮与主动皮带轮之间位置上设置有皮带。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述调节盘的外壁位置上贯穿并转动连接有分布均匀的螺丝且螺丝与限位杆贯穿并转动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定块的前端底部位置上固定连接有挡板。

本实用新型具有如下有益效果：