[实用新型]一种双面一体光刻装置有效
申请号: | 202320212961.3 | 申请日: | 2023-02-13 |
公开(公告)号: | CN219225301U | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 陈启明;宋显文;傅仁轩;徐勇军;刘益标 | 申请(专利权)人: | 广东工贸职业技术学院 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人: | 张婧 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种双面一体光刻装置,包括光刻设备组件和换料机构,所述光刻设备组件包括加工台、光刻主机和双面一体光刻台;所述换料机构包括转台、两个气缸;本实用新型通过置物板对需要进行曝光处理的电路板进行限位,然后通过气缸的活塞杆带动置物板与转台进行贴合,然后通过伺服电机的输出轴带动转台转动,转动的转台带动两个置物板进行位置互换,然后通过气缸的活塞杆带动置物板进行复位,以便将电路板送入双面一体光刻台的内部,然后通过光刻主机利用掩膜板对电路板进行双面曝光处理,且曝光处理的过程中,可以将另一个置物板内曝光处理后的电路板取下进行更换,用以降低设备整体待机的时间,提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 双面 一体 光刻 装置 | ||
【主权项】:
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