[实用新型]一种双面一体光刻装置

权利要求书

1.一种双面一体光刻装置，包括光刻设备组件（1）和换料机构（2），其特征在于：所述光刻设备组件（1）包括加工台（101）、光刻主机（102）和双面一体光刻台（103）；

所述换料机构（2）包括转台（201）、两个气缸（202）、两个置物板（203）、三个透光板（204）、三个掩膜板（205）和伺服电机（206）；

所述光刻主机（102）安装于所述加工台（101）的上表面，所述双面一体光刻台（103）安装于所述加工台（101）的上表面靠近光刻主机（102）的一侧，所述伺服电机（206）安装于所述加工台（101）的内侧壁，所述转台（201）的底部固定连接于所述伺服电机（206）的输出轴，两个所述气缸（202）对称安装于所述转台（201）的内侧壁，两个所述置物板（203）分别固定连接于两个所述气缸（202）的活塞杆，三个所述透光板（204）分别安装于两个所述置物板（203）的内侧壁底部和双面一体光刻台（103）的内侧壁顶部，三个所述掩膜板（205）分别安装于两个所述置物板（203）的内侧壁中部和双面一体光刻台（103）的内侧壁顶部。

2.根据权利要求1所述的双面一体光刻装置，其特征在于：两个所述置物板（203）的内侧壁顶部均滑动连接有电路板体（41），所述电路板体（41）与所述掩膜板（205）相适配。

3.根据权利要求2所述的双面一体光刻装置，其特征在于：两个所述置物板（203）的上表面均开设有置物槽（42），所述电路板体（41）的外侧壁滑动连接于所述置物槽（42）的内侧壁。

4.根据权利要求1所述的双面一体光刻装置，其特征在于：两个所述置物板（203）相邻的一侧均固定连接有两个导向杆（43），两个所述导向杆（43）均滑动连接于所述转台（201）的内侧壁。

5.根据权利要求4所述的双面一体光刻装置，其特征在于：所述转台（201）的内侧壁对称开设有四个导向槽（45），四个所述导向槽（45）的内侧壁均滑动连接有定位板（44），所述导向杆（43）远离置物板（203）的一端分别固定连接于所述定位板（44）的一侧中部。

6.根据权利要求1所述的双面一体光刻装置，其特征在于：所述光刻主机（102）靠近双面一体光刻台（103）的一侧对称安装有两个光学镜头（46）。

7.根据权利要求1所述的双面一体光刻装置，其特征在于：所述加工台（101）的上表面远离光刻主机（102）的一侧固定连接有换料台（47）。

8.根据权利要求7所述的双面一体光刻装置，其特征在于：所述换料台（47）与所述双面一体光刻台（103）相邻的一侧均开设有滑槽（48），两个所述置物板（203）的外侧壁分别滑动连接于所述滑槽（48）的内侧壁。