[实用新型]管路用加热装置以及薄膜沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种管路用加热装置以及薄膜沉积设备。其中，管路用加热装置，包括：导热件，所述导热件形成有容许管路穿过的收纳通道，所述收纳通道贯穿所述导热件，并且，所述收纳通道的横截面的尺寸大于所述管路的横截面的尺寸，以使在所述管路被收纳在所述收纳通道内的情况下，所述收纳通道和所述管路之间沿径向具有间隙；加热器，与所述导热件连接，并对所述导热件进行加热；在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路隔着所述间隙被所述导热件加热。根据本实用新型的管路用加热装置，能够使管路的各个位置的受热更加均匀。