[实用新型]管路用加热装置以及薄膜沉积设备

权利要求书

1.管路用加热装置，其特征在于，包括：

导热件，所述导热件形成有容许管路穿过的收纳通道，所述收纳通道贯穿所述导热件，并且，所述收纳通道的横截面的尺寸大于所述管路的横截面的尺寸，以使在所述管路被收纳在所述收纳通道内的情况下，所述收纳通道和所述管路之间沿径向具有间隙；

加热器，与所述导热件连接，并对所述导热件进行加热；

在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路隔着所述间隙被所述导热件加热。

2.根据权利要求1所述的管路用加热装置，其特征在于，还包括流体输出器，所述流体输出器与所述导热件的收纳通道连接，并往所述收纳通道和所述管路之间的间隙输入流体；

在所述导热件被所述加热器加热的情况下，所述管路经由所述流体被所述导热件加热。

3.根据权利要求1或2所述的管路用加热装置，其特征在于，所述收纳通道当中，具有多处拐弯部。

4.根据权利要求3所述的管路用加热装置，其特征在于，所述收纳通道包括一个进口端以及多个出口端。

5.根据权利要求4所述的管路用加热装置，其特征在于，所述收纳通道包括多个分支部，所述进口端通过多个所述分支部与多个所述出口端连通。

6.根据权利要求4或5所述的管路用加热装置，其特征在于，所述导热件呈板状，所述导热件包括两个，两个所述导热件相互贴合；

两个所述导热件当中，至少其中一个所述导热件的与另一个所述导热件相对的内侧表面上，形成有槽部，在两个所述导热件的所述内侧表面贴合的情况下，所述槽部形成处在所述两个所述导热件之间的所述收纳通道。

7.根据权利要求6所述的管路用加热装置，其特征在于，两个所述导热件的所述内侧表面均形成有所述槽部，在两个所述导热件的所述内侧表面贴合的情况下，两个所述槽部相对并形成横截面呈圆形状的所述收纳通道。

8.根据权利要求6所述的管路用加热装置，其特征在于，所述加热器呈板状，所述加热器包括两个，两个所述加热器分别贴合两个所述导热件的外侧表面。

9.根据权利要求1、2或8所述的管路用加热装置，其特征在于，还包括隔热件，所述隔热件罩住所述加热器以及所述导热件。

10.薄膜沉积设备，具有气源部以及工艺腔，其特征在于，所述气源部经由权利要求1至9中任一项所述的管路用加热装置被输送到所述工艺腔。